Ipara igbale ni akọkọ pẹlu ifisilẹ igbale igbale, ibora sputtering ati ibora ion, gbogbo eyiti a lo lati fi ọpọlọpọ awọn irin ati awọn fiimu ti kii ṣe irin sori dada ti awọn ẹya ṣiṣu nipasẹ distillation tabi sputtering labẹ awọn ipo igbale, eyiti o le gba ibora dada tinrin pupọ pẹlu anfani iyalẹnu ti ifaramọ iyara, ṣugbọn idiyele tun ga julọ, ati pe awọn iru ti awọn irin ti a lo fun iṣẹ ṣiṣe ti o kere ju, ati pe o le jẹ ki o kere si awọn iru awọn ọja ti o le ṣiṣẹ.
Ifilelẹ orule igbale jẹ ọna ti alapapo irin labẹ igbale giga, ṣiṣe ki o yo, yọ kuro, ati ṣe fiimu irin tinrin lori oju ti ayẹwo lẹhin itutu agbaiye, pẹlu sisanra ti 0.8-1.2 um. O kun ni kekere concave ati convex awọn ẹya ara lori dada ti awọn ọja akoso lati gba a digi-bi dada.Nigbati igbale igbale ifiṣura wa ni ošišẹ ti boya lati gba a afihan digi ipa tabi lati igbale vaporize a irin pẹlu kekere adhesion, awọn isalẹ dada gbọdọ wa ni ti a bo.
Sputtering nigbagbogbo n tọka si sputtering magnetron, eyiti o jẹ ọna itọka iwọn otutu kekere ti o ga julọ. Awọn ilana nilo kan igbale ti nipa 1 × 10-3Torr, ti o jẹ 1.3 × 10-3Pa igbale ipinle kún pẹlu inert gaasi argon (Ar), ati laarin awọn ṣiṣu sobusitireti (anode) ati awọn irin afojusun (cathode) plus ga-foliteji taara lọwọlọwọ, nitori awọn elekitironi simi ti inert gaasi ti ipilẹṣẹ nipasẹ awọn alábá awọn ibi-afẹde ti pilasima ti o ti gbejade ati awọn producing awọn ohun idogo pilasima jade ti awọn itujade, produ lori ike sobusitireti. Pupọ julọ awọn ohun elo irin gbogbogbo lo sputtering DC, lakoko ti awọn ohun elo seramiki ti kii ṣe adaṣe lo RF AC sputtering.
Ion ti a bo jẹ ọna kan ninu eyiti a ti lo itujade gaasi lati ionize gaasi tabi nkan ti o yọ kuro labẹ awọn ipo igbale, ati nkan ti o gbejade tabi awọn reactants ti wa ni ipamọ lori sobusitireti nipasẹ bombard ti awọn ions gaasi tabi awọn ions ti nkan ti o gbejade. Iwọnyi pẹlu abọ ion magnetron sputtering ion, ibora ion ifaseyin, ṣofo cathode itusilẹ ion ibora (ọna fifin eefin cathode ti o ṣofo), ati bobo ion olona-arc (cobo arc ion cathode).
Inaro ni ilopo-apa magnetron sputtering lemọlemọfún bo ni ila
Ohun elo jakejado, le ṣee lo fun awọn ọja itanna gẹgẹbi iwe ajako ikarahun EMI Layer shielding, awọn ọja alapin, ati paapaa gbogbo awọn ọja ago atupa laarin sipesifikesonu iga kan le ṣee ṣe. Agbara ikojọpọ ti o tobi, didi iwapọ ati didamu ti awọn agolo ina conical fun ibora apa meji, eyiti o le ni agbara ikojọpọ nla. Didara iduroṣinṣin, aitasera to dara ti Layer fiimu lati ipele si ipele. Iwọn giga ti adaṣe ati idiyele iṣẹ ṣiṣe kekere.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-23-2025