Imọ-ẹrọ CVD da lori iṣesi kemikali. Ihuwasi ninu eyiti awọn ifaseyin wa ni ipo gaseous ati ọkan ninu awọn ọja wa ni ipo to muna ni a tọka si bi iṣe CVD, nitorinaa eto ifaseyin kemikali rẹ gbọdọ mu awọn ipo mẹta wọnyi mu.
(1) Ni iwọn otutu ifisilẹ, awọn reactants gbọdọ ni titẹ oru giga ti o to. Ti o ba ti reactants gbogbo gaseous ni yara otutu, awọn iwadi oro ẹrọ jẹ jo o rọrun, ti o ba ti reactants wa ni iyipada ni yara otutu jẹ gidigidi kekere, o nilo lati wa ni kikan lati ṣe awọn ti o iyipada, ati ki o ma nilo lati lo awọn ti ngbe gaasi lati mu o si awọn lenu iyẹwu.
(2) Ninu awọn ọja ifaseyin, gbogbo awọn nkan gbọdọ wa ni ipo gaseous ayafi fun idogo ti o fẹ, eyiti o wa ni ipo to lagbara.
(3) Awọn titẹ oru ti fiimu ti a fi silẹ yẹ ki o jẹ kekere to lati rii daju pe fiimu ti a fi silẹ ti wa ni ṣinṣin si sobusitireti kan ti o ni iwọn otutu ifisilẹ kan nigba ifarahan ifisilẹ. Agbara oru ti ohun elo sobusitireti ni iwọn otutu ifisilẹ gbọdọ tun jẹ kekere to.
Awọn reactants iwadi oro ti wa ni pin si awọn mẹta akọkọ ipinle.
(1) Gaseous ipinle. Awọn ohun elo orisun ti o jẹ gaseous ni iwọn otutu yara, bii methane, carbon dioxide, amonia, chlorine, ati bẹbẹ lọ, eyiti o jẹ itara julọ si isunmọ ọru ti kemikali, ati fun eyiti oṣuwọn sisan ni irọrun ni iṣakoso.
(2) Omi. Diẹ ninu awọn nkan ifa ni iwọn otutu yara tabi iwọn otutu ti o ga diẹ, titẹ oru giga wa, gẹgẹbi TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, ati bẹbẹ lọ, le ṣee lo lati gbe gaasi (bii H2, N2, Ar) ti nṣan nipasẹ oju omi tabi omi inu omi ti nkuta, ati lẹhinna gbe awọn vapors ti nkan na sinu ile-iṣere naa.
(3) Ipo ti o lagbara. Ni aini gaseous tabi orisun omi ti o yẹ, awọn ifunni-ipinlẹ to lagbara nikan ni a le lo. Diẹ ninu awọn eroja tabi awọn agbo ogun wọn ni awọn ọgọọgọrun awọn iwọn ni titẹ akude pupọ, gẹgẹbi TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, ati bẹbẹ lọ, le ṣee gbe sinu ile-iṣere ni lilo gaasi ti ngbe ti a fi sinu Layer fiimu naa.
Iru ipo ti o wọpọ diẹ sii nipasẹ gaasi kan ati ohun elo orisun gaasi-lile tabi esi-omi gaasi, dida awọn paati gaseous ti o yẹ si ifijiṣẹ ile-iṣere. Fun apẹẹrẹ, gaasi HCl ati irin Ga fesi lati ṣe paati gaseous GaCl, eyiti o gbe lọ si ile-iṣere ni irisi GaCl.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-16-2023