הקדמה פון וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן, ספּאַטערינג און יאָן קאָוטינג

וואַקוום קאָוטינג נעמט דער עיקר אַרײַן וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן, ספּאַטערינג קאָוטינג און יאָן קאָוטינג, אַלע פֿון וועלכע ווערן גענוצט צו דעפּאַזיטירן פֿאַרשידענע מעטאַל און ניט-מעטאַל פֿילמען אויף דער ייבערפֿלאַך פֿון פּלאַסטיק טיילן דורך דיסטילאַציע אָדער ספּאַטערינג אונטער וואַקוום באַדינגונגען, וואָס קען באַקומען אַ זייער דין ייבערפֿלאַך קאָוטינג מיטן אויסגעצייכנטן פֿאָרטייל פֿון שנעלער אַדכיזשאַן, אָבער דער פּרײַז איז אויך העכער, און די טיפּן מעטאַלן וואָס קענען ווערן אָפּערירט זענען ווייניקער, און ווערן בכלל גענוצט פֿאַר פֿונקציאָנעלער קאָוטינג פֿון העכער-קלאַס פּראָדוקטן.
וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן איז אַ מעטאָד פון וואַרעמען דעם מעטאַל אונטער הויך וואַקוום, מאַכנדיג עס צעשמעלצן, פארדאַמפּן, און פאָרעם אַ דין מעטאַל פילם אויף דער ייבערפלאַך פון דער מוסטער נאָך קילן, מיט אַ גרעב פון 0.8-1.2 µm. עס פילט אויס די קליינע קאָנקאַווע און קאָנוועקס טיילן אויף דער ייבערפלאַך פון דעם געשאַפענעם פּראָדוקט צו באַקומען אַ שפּיגל-ווי ייבערפלאַך. ווען וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן ווערט דורכגעפירט, צי צו באַקומען אַ רעפלעקטיוו שפּיגל ווירקונג, צי צו וואַקוום פארדאַמפּן אַ שטאָל מיט נידעריק אַדכיזשאַן, מוז די אונטערשטע ייבערפלאַך זיין באדעקט.

ספּאַטערינג באַציט זיך געוויינטלעך צו מאַגנעטראָן ספּאַטערינג, וואָס איז אַ הויך-גיכקייַט נידעריק-טעמפּעראַטור ספּאַטערינג מעטאָד. דער פּראָצעס ריקווייערז אַ וואַקוום פון וועגן 1×10-3Torr, דאָס איז 1.3×10-3Pa וואַקוום צושטאַנד אָנגעפילט מיט ינערט גאַז אַרגאָן (Ar), און צווישן די פּלאַסטיק סאַבסטראַט (אַנאָדע) און די מעטאַל ציל (קאַטאָדע) פּלוס הויך-וואָולטידזש גלייַך קראַנט, רעכט צו דער עלעקטראָן עקסייטיישאַן פון ינערט גאַז דזשענערייטאַד דורך גלאָו דיסטשאַרדזש, פּראַדוסינג פּלאַזמע, די פּלאַזמע וועט בלאָזן אויס די אַטאָמס פון די מעטאַל ציל און דעפּאַזאַץ זיי אויף די פּלאַסטיק סאַבסטראַט. רובֿ פון די אַלגעמיינע מעטאַל קאָוטינגז נוצן DC ספּאַטערינג, בשעת די ניט-קאַנדאַקטיוו קעראַמיק מאַטעריאַלס נוצן RF AC ספּאַטערינג.

יאָן קאָוטינג איז אַ מעטאָדע אין וועלכער אַ גאַז אָפּלאָד ווערט גענוצט צו טיילווייז יאָניזירן דעם גאַז אָדער די פאַרדאַמפּטע סובסטאַנץ אונטער וואַקוום באדינגונגען, און די פאַרדאַמפּטע סובסטאַנץ אָדער אירע רעאַקטאַנץ ווערן דעפּאַזיטירט אויף דעם סאַבסטראַט דורך באָמבאַרדירן גאַז יאָנען אָדער יאָנען פון דער פאַרדאַמפּטער סובסטאַנץ. די אַרייַננעמען מאַגנעטראָן ספּאַטערינג יאָן קאָוטינג, רעאַקטיוו יאָן קאָוטינג, האָלע קאַטאָדע אָפּלאָד יאָן קאָוטינג (האָלע קאַטאָדע פארע דעפּאַזישאַן מעטאָדע), און מולטי-אַרק יאָן קאָוטינג (קאַטאָדע אַרק יאָן קאָוטינג).

ווערטיקאַל טאָפּל-סיידאַד מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאַנטיניואַס קאָוטינג אין ליניע
ברייטע אנווענדבארקייט, קען גענוצט ווערן פאר עלעקטראנישע פראדוקטן ווי למשל נאָוטבוק שאָל, EMI שילדינג שיכט, פלאַכע פראדוקטן, און אפילו אלע לאָמפּ גלעזל פּראָדוקטן אין א געוויסע הייך ספּעציפיקאַציע קענען געשאפן ווערן. גרויסע לאָודינג קאַפּאַציטעט, קאָמפּאַקטע קלאַמפּינג און סטאַגערד קלאַמפּינג פון קאָנישע ליכט גלעזלעך פאר צוויי-זייטיגע קאָוטינג, וואָס קענען האבן גרעסערע לאָודינג קאַפּאַציטעט. סטאַבילע קוואַליטעט, גוטע קאָנסיסטענסי פון פילם שיכט פון באַטש צו באַטש. הויך גראַד פון אויטאָמאַציע און נידעריקע לויפֿנדיקע אַרבעט קאָסטן.

–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ