Máy phủ chân không trên hệ thống bơm có các yêu cầu cơ bản sau:
(1) Hệ thống chân không phủ phải có tốc độ bơm đủ lớn, không chỉ có thể bơm nhanh các khí thoát ra từ vật liệu nền và vật liệu bay hơi cùng các thành phần trong buồng chân không trong quá trình phủ mà còn có thể bơm nhanh các khí thoát ra từ quá trình phun phủ và phủ ion, cũng như rò rỉ khí của quá trình phun phủ và phủ ion và hệ thống.
Rò rỉ khí trong quá trình phun phủ và phủ ion cũng có thể được loại bỏ nhanh chóng. Để nâng cao năng suất của máy phủ, cần phải có khả năng vận hành nhanh chóng.
(2) Độ chân không cuối cùng của hệ thống bơm máy tráng phủ phải khác nhau tùy theo yêu cầu của các màng khác nhau. Bảng 7-9 là phạm vi độ chân không cần thiết cho quá trình tráng phủ của các màng khác nhau.
(3) Trong hệ thống bơm khuếch tán dầu như hệ thống bơm bơm chính yêu cầu tỷ lệ dầu hồi lưu của bơm càng nhỏ càng tốt, vì hơi dầu hồi lưu sẽ làm ô nhiễm bề mặt của phôi và làm giảm chất lượng của màng. Trong yêu cầu chất lượng màng đặc biệt cao trong quá trình phủ, tốt nhất nên sử dụng hệ thống bơm không dầu. Khi sử dụng hệ thống bơm bơm khuếch tán dầu, nên đặt bẫy hấp phụ, bẫy lạnh và các thành phần khác trong đầu vào của bơm, đồng thời nên chú ý đến độ dẫn điện của các thành phần để đảm bảo hệ thống chân không duy trì tốc độ bơm tối đa.
(4) Tỷ lệ rò rỉ của buồng phủ chân không và hệ thống bơm của nó phải nhỏ, tức là ngay cả khi rò rỉ khí vết thì cũng sẽ ảnh hưởng đến chất lượng của màng. Do đó, để đảm bảo hiệu suất bịt kín của hệ thống, tỷ lệ rò rỉ tổng thể của hệ thống phải được giới hạn trong phạm vi cho phép.
(5) Việc vận hành, sử dụng và bảo dưỡng hệ thống chân không phải thuận tiện, ổn định và đáng tin cậy.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 14-12-2023