Máy lắng đọng phun, còn được gọi là hệ thống phun, là thiết bị chuyên dụng cao được sử dụng trong quá trình lắng đọng màng mỏng. Nó hoạt động theo nguyên lý phun, bao gồm việc bắn phá vật liệu mục tiêu bằng các ion hoặc nguyên tử năng lượng cao. Quá trình này đẩy ra một luồng nguyên tử từ vật liệu mục tiêu, sau đó được lắng đọng lên một chất nền để tạo thành màng mỏng.
Việc sử dụng máy lắng đọng phun đã mở rộng đáng kể do khả năng sản xuất màng có độ tinh khiết cao, độ đồng đều tuyệt vời và độ dày được kiểm soát. Các màng như vậy có ứng dụng rộng rãi trong vi điện tử, quang học, pin mặt trời, phương tiện lưu trữ từ tính và các lĩnh vực khác.
Những phát triển gần đây trong lĩnh vực máy lắng đọng phun đã mang lại chức năng nâng cao và các đặc tính được cải thiện. Một tiến bộ đáng chú ý là việc kết hợp công nghệ phun magnetron, cho phép tỷ lệ lắng đọng cao hơn và chất lượng màng được cải thiện. Sự đổi mới này cho phép lắng đọng nhiều loại vật liệu, bao gồm kim loại, oxit kim loại và chất bán dẫn.
Ngoài ra, máy lắng đọng phun hiện được trang bị hệ thống điều khiển tiên tiến đảm bảo kiểm soát chính xác các thông số lắng đọng như áp suất khí, mật độ công suất, thành phần mục tiêu và nhiệt độ chất nền. Những tiến bộ này cải thiện hiệu suất màng và cho phép sản xuất màng có các đặc tính phù hợp với các ứng dụng cụ thể.
Ngoài ra, sự phát triển liên tục trong lĩnh vực công nghệ nano cũng được hưởng lợi rất nhiều từ máy lắng đọng phun. Các nhà nghiên cứu đang sử dụng những máy này để tạo ra các cấu trúc nano và lớp phủ có cấu trúc nano với độ chính xác cực cao. Máy lắng đọng phun có khả năng lắng đọng các màng mỏng trên các hình dạng phức tạp và diện tích lớn, khiến chúng trở nên lý tưởng cho nhiều ứng dụng ở cấp độ nano.
Gần đây có thông tin cho biết một nhóm các nhà khoa học từ một viện nghiên cứu nổi tiếng đã phát triển thành công một máy lắng đọng phun mới có thể lắng đọng màng mỏng với độ chính xác chưa từng có. Máy tiên tiến này tích hợp các thuật toán điều khiển hiện đại và thiết kế magnetron mới để đạt được độ đồng đều và kiểm soát độ dày của màng vượt trội. Nhóm nghiên cứu hình dung máy của họ sẽ cách mạng hóa quy trình sản xuất các thiết bị điện tử và hệ thống lưu trữ năng lượng thế hệ tiếp theo.
Phát triển vật liệu mới với chức năng được cải thiện là một mục tiêu theo đuổi không ngừng nghỉ của cộng đồng khoa học. Máy lắng đọng phun đã trở thành một công cụ không thể thiếu trong quá trình khám phá này, tạo điều kiện thuận lợi cho việc khám phá và tổng hợp các vật liệu mới có đặc tính độc đáo. Các nhà nghiên cứu đang sử dụng các máy này để nghiên cứu cơ chế phát triển màng, nghiên cứu vật liệu có đặc tính phù hợp và khám phá ra các vật liệu mới có thể định hình tương lai của công nghệ.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 30-10-2023