1. Mục tiêu Crom Crom là vật liệu màng phun không chỉ dễ kết hợp với chất nền có độ bám dính cao mà còn có thể kết hợp crom và oxit để tạo thành màng CrO3, tính chất cơ học, khả năng chống axit, độ ổn định nhiệt của nó tốt hơn. Ngoài ra, crom ở trạng thái oxy hóa không hoàn toàn cũng có thể tạo ra màng hấp thụ yếu. Crom có độ tinh khiết hơn 98% đã được báo cáo là có thể chế tạo thành mục tiêu hình chữ nhật hoặc mục tiêu hình trụ crom. Ngoài ra, công nghệ sử dụng phương pháp thiêu kết để chế tạo mục tiêu hình chữ nhật crom cũng đã hoàn thiện.
2. Mục tiêu ITO Chuẩn bị vật liệu mục tiêu màng ITO được sử dụng trong quá khứ, thường sử dụng vật liệu hợp kim In-Sn để tạo mục tiêu, sau đó trong quá trình phủ thông qua oxy, sau đó tạo ra màng ITO. Phương pháp này khó kiểm soát khí phản ứng và có khả năng tái tạo kém. Do đó, trong những năm gần đây đã được thay thế bằng mục tiêu thiêu kết ITO. Quy trình điển hình của vật liệu mục tiêu ITO là theo tỷ lệ chất lượng, thông qua phương pháp nghiền bi sẽ được trộn hoàn toàn, sau đó thêm chất tổng hợp bột hữu cơ đặc biệt sẽ được trộn thành hình dạng yêu cầu và thông qua quá trình nén áp suất, sau đó tấm trong không khí ở tốc độ gia nhiệt 100 ℃ / h đến 1600 ℃ sau khi giữ 1 giờ, sau đó tốc độ làm mát 100 ℃ / h xuống nhiệt độ phòng và thực hiện. Tốc độ làm mát 100 ℃ / h xuống nhiệt độ phòng và thực hiện. Khi tạo mục tiêu, mặt phẳng mục tiêu cần được đánh bóng, để tránh các điểm nóng trong quá trình phun.
3. Vàng và hợp kim vàng mục tiêu vàng, ánh kim quyến rũ, có khả năng chống ăn mòn tốt, là vật liệu phủ bề mặt trang trí lý tưởng. Phương pháp mạ ướt được sử dụng trong quá khứ, độ bám dính của màng nhỏ, độ bền thấp, khả năng chống mài mòn kém, cũng như các vấn đề ô nhiễm chất lỏng thải, do đó, không thể tránh khỏi việc thay thế bằng mạ khô. Loại mục tiêu có mục tiêu phẳng, mục tiêu composite cục bộ, mục tiêu hình ống, mục tiêu ống composite cục bộ, v.v. Phương pháp chuẩn bị của nó chủ yếu thông qua liều lượng nấu chảy chân không, ngâm chua, cán nguội, ủ, cán mịn, cắt, làm sạch bề mặt, gói composite cán nguội và một loạt các quy trình như chuẩn bị quy trình. Công nghệ này đã vượt qua đánh giá tại Trung Quốc, sử dụng kết quả tốt.
4. Mục tiêu vật liệu từ Mục tiêu vật liệu từ chủ yếu được sử dụng để mạ đầu từ màng mỏng, đĩa màng mỏng và các thiết bị màng mỏng từ khác. Do sử dụng phương pháp phun magnetron DC cho vật liệu từ nên việc phun magnetron khó khăn hơn. Do đó, các mục tiêu CT có cái gọi là "loại mục tiêu khe hở" được sử dụng để chuẩn bị các mục tiêu như vậy. Nguyên tắc là cắt nhiều khe hở trên bề mặt vật liệu mục tiêu để có thể tạo ra hệ thống từ tính trên bề mặt vật liệu từ tính từ trường rò rỉ, để bề mặt mục tiêu có thể hình thành từ trường trực giao và đạt được mục đích của màng phun magnetron. Người ta nói rằng độ dày của vật liệu mục tiêu này có thể đạt tới 20mm.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 24-01-2024