3. Ảnh hưởng của nhiệt độ nền
Nhiệt độ nền là một trong những điều kiện quan trọng đối với sự phát triển của màng. Nó cung cấp năng lượng bổ sung cho các nguyên tử hoặc phân tử màng, và chủ yếu ảnh hưởng đến cấu trúc màng, hệ số kết tụ, hệ số giãn nở và mật độ kết tụ. Sự phản xạ vĩ mô trong chỉ số khúc xạ của màng, sự tán xạ, ứng suất, độ bám dính, độ cứng và độ không hòa tan sẽ khác nhau rất nhiều do nhiệt độ nền khác nhau.
(1) Chất nền lạnh: thường được sử dụng để bốc hơi màng kim loại.
(2) Ưu điểm của nhiệt độ cao:
① Các phân tử khí còn lại được hấp phụ trên bề mặt chất nền được loại bỏ để tăng lực liên kết giữa chất nền và các phân tử lắng đọng;
(2) Thúc đẩy quá trình chuyển hóa hấp phụ vật lý thành hấp phụ hóa học của lớp màng, tăng cường tương tác giữa các phân tử, làm cho màng chặt chẽ, tăng độ bám dính và cải thiện độ bền cơ học;
③ Giảm sự chênh lệch giữa nhiệt độ kết tinh lại phân tử hơi và nhiệt độ của chất nền, cải thiện mật độ của lớp màng, tăng độ cứng của lớp màng để loại bỏ ứng suất bên trong.
(3) Nhược điểm của nhiệt độ quá cao: cấu trúc của lớp màng thay đổi hoặc vật liệu màng bị phân hủy.
4. Tác dụng của sự bắn phá ion
Bắn phá sau khi mạ: cải thiện mật độ kết tụ của màng, tăng cường phản ứng hóa học, tăng chiết suất của màng oxit, độ bền cơ học và độ bền và độ bám dính. Ngưỡng hư hỏng ánh sáng tăng lên.
5. Ảnh hưởng của vật liệu nền
(1) Hệ số giãn nở khác nhau của vật liệu nền sẽ dẫn đến ứng suất nhiệt khác nhau của màng;
(2) Độ ái lực hóa học khác nhau sẽ ảnh hưởng đến độ bám dính và độ cứng của màng phim;
(3) Độ nhám và khuyết tật của chất nền là nguồn chính gây ra sự tán xạ màng mỏng.
6. Tác động của việc vệ sinh chất nền
Bụi bẩn và chất tẩy rửa còn sót lại trên bề mặt vật liệu nền sẽ dẫn đến: (1) độ bám dính của màng phim với vật liệu nền kém; ② Độ hấp thụ tán xạ tăng, khả năng chống laser kém; ③ Hiệu suất truyền sáng kém.
Thành phần hóa học (độ tinh khiết và loại tạp chất), trạng thái vật lý (bột hoặc khối) và xử lý sơ bộ (thiêu kết chân không hoặc rèn) của vật liệu màng sẽ ảnh hưởng đến cấu trúc và hiệu suất của màng.
8. Ảnh hưởng của phương pháp bốc hơi
Động năng ban đầu do các phương pháp bay hơi khác nhau cung cấp để làm bay hơi các phân tử và nguyên tử là rất khác nhau, dẫn đến sự khác biệt lớn về cấu trúc của màng, biểu hiện ở sự khác biệt về chiết suất, tán xạ và độ bám dính.
9. Ảnh hưởng của góc tới hơi nước
Góc tới hơi là góc giữa hướng bức xạ phân tử hơi và pháp tuyến bề mặt của chất nền phủ, ảnh hưởng đến đặc tính tăng trưởng và mật độ kết tụ của màng, có ảnh hưởng lớn đến chiết suất và đặc tính tán xạ của màng. Để có được màng chất lượng cao, cần kiểm soát Góc phát xạ của con người đối với các phân tử hơi của vật liệu màng, thường nên giới hạn ở 30°.
10. Tác dụng của xử lý nướng
Việc xử lý nhiệt màng trong khí quyển có lợi cho việc giải phóng ứng suất và sự di chuyển nhiệt của các phân tử khí xung quanh và các phân tử màng, đồng thời có thể làm cho cấu trúc của màng tái hợp, do đó có ảnh hưởng lớn đến chiết suất, ứng suất và độ cứng của màng.
Thời gian đăng: 29-03-2024