Nasos tizimidagi vakuumli qoplama mashinasi quyidagi asosiy talablarga ega:
(1) Qoplama vakuum tizimi etarlicha katta nasos tezligiga ega bo'lishi kerak, bu nafaqat qoplama jarayonida substratdan va bug'langan materiallardan va vakuum kamerasidagi tarkibiy qismlardan ajralib chiqadigan gazlarni tezda pompalay olishi kerak, balki purkash va ion qoplama jarayonidan chiqadigan gazlarni, shuningdek, gaz oqishini va purkash tizimidan purkash jarayonini tezda pompalay olishi kerak.
Cho'kish va ion bilan qoplash jarayonida gaz oqishini ham tezda olish mumkin. Qoplama mashinasining mahsuldorligini oshirish uchun u tez ishlay olishi kerak.
(2) Qoplama mashinasi nasos tizimining yakuniy vakuumi turli filmlarning talablariga muvofiq har xil bo'lishi kerak. 7-9-jadval - turli plyonkalarni qoplash jarayoni uchun zarur bo'lgan vakuum darajasining diapazoni.
(3) Yog 'diffuziya nasosida asosiy nasos nasos tizimi nasosning moyni qaytarish tezligini iloji boricha kichikroq bo'lishini talab qiladi, chunki qaytib keladigan yog 'bug'i ishlov beriladigan qismning sirtini ifloslantiradi va plyonka sifatini pasayishiga olib keladi. Filmda sifat talablari, ayniqsa, qoplama jarayonida yuqori, yog'siz nasos tizimidan foydalanish yaxshidir. Yog 'diffuziya nasosining nasos tizimidan foydalanganda, nasosning kirish adsorbsion tuzog'iga, sovuq tuzoqqa va boshqa komponentlarga o'rnatilishi kerak va vakuum tizimining maksimal nasos tezligini saqlab turishini ta'minlash uchun komponentlarning o'tkazuvchanligiga e'tibor berish kerak.
(4) Vakuumli qoplama kamerasi va uning nasos tizimining oqish tezligi kichik bo'lishi kerak, ya'ni, agar u iz gaz qochqin bo'lsa ham, bu film sifatiga ta'sir qiladi. Shuning uchun, tizimning muhrlanish ishlashini ta'minlash uchun tizimning umumiy oqish tezligi ruxsat etilgan diapazon bilan cheklanishi kerak.
(5) Vakuum tizimining ishlashi, foydalanish va texnik xizmat ko'rsatish qulay, barqaror va ishonchli ishlashi kerak.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Yuborilgan vaqt: 2023 yil 14-dekabr