Вакуумна машина для нанесення покриття на насосній системі має такі основні вимоги:
(1) Вакуумна система нанесення покриття повинна мати достатньо велику швидкість відкачування, яка повинна не тільки швидко відкачувати гази, що виділяються з підкладки та випарованих матеріалів і компонентів у вакуумній камері під час процесу нанесення покриття, але й бути здатною швидко відкачувати гази, що виділяються в процесі напилення та іонного покриття, а також запобігати витоку газу з процесу напилення та іонного покриття та системи.
Витік газу під час процесу розпилення та іонного покриття також можна швидко усунути. Для підвищення продуктивності машини для нанесення покриттів вона повинна мати можливість працювати швидко.
(2) Граничний вакуум насосної системи машини для нанесення покриття повинен бути різним залежно від вимог до різних плівок. У таблиці 7-9 наведено діапазон ступеня вакууму, необхідний для процесу нанесення покриття на різні плівки.
(3) У масляному дифузійному насосі як основній системі перекачування вимагається якомога менша швидкість повернення оливи, оскільки пари оливи, що повертаються, забруднюватимуть поверхню заготовки та призводитимуть до зниження якості плівки. Оскільки вимоги до якості плівки особливо високі в процесі нанесення покриттів, найкраще використовувати безмасляну систему перекачування. При використанні масляного дифузійного насоса слід встановити адсорбційну пастку, холодну пастку та інші компоненти на вході насоса, а також звернути увагу на провідність компонентів, щоб забезпечити максимальну швидкість перекачування вакуумною системою.
(4) Швидкість витоку з вакуумної камери покриття та її системи відкачування повинна бути невеликою, тобто навіть якщо це слідовий витік газу, це вплине на якість плівки. Тому, щоб забезпечити герметичність системи, загальна швидкість витоку системи повинна бути обмежена допустимим діапазоном.
(5) Експлуатація, використання та обслуговування вакуумної системи повинні бути зручними, стабільними та надійними.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 14 грудня 2023 р.