1. Хромова мішень. Хром як матеріал для розпилювальної плівки не тільки легко поєднується з підкладкою, забезпечуючи високу адгезію, але й утворює плівку CrO3 з хромом та оксидом, що покращує її механічні властивості, кислотостійкість та термостабільність. Крім того, хром у неповному стані окислення також може утворювати слабку абсорбційну плівку. Повідомлялося, що хром із чистотою понад 98% можна використовувати для виготовлення прямокутних або циліндричних хромових мішеней. Крім того, технологія спікання для виготовлення прямокутних хромових мішеней також є досить зрілою.
2. Підготовка плівкової мішені ITO. У минулому для виготовлення плівки мішені зазвичай використовувалися сплави In-Sn, а потім у процесі нанесення покриття пропускали кисень, що призводило до утворення плівки ITO. Цей метод важко контролювати реакційний газ і мав погану відтворюваність. Тому в останні роки його замінили спіканням мішеней ITO. Типовий процес виготовлення плівки мішені ITO полягає в тому, що залежно від співвідношення якості матеріал повністю змішується методом кульового помелу, потім додається спеціальний органічний порошковий композитний агент, якому надається потрібна форма, і пресується під тиском. Потім пластина нагрівається на повітрі зі швидкістю 100 ℃/год до 1600 ℃ протягом 1 години, а потім охолоджується до кімнатної температури зі швидкістю 100 ℃/год. Після цього плівка охолоджується до кімнатної температури зі швидкістю 100 ℃/год. Під час виготовлення мішеней площину мішені необхідно полірувати, щоб уникнути утворення гарячих точок у процесі напилення.
3. Золото та золоті сплави, що наносяться на мішені, мають блискучий шарм та добру стійкість до корозії, є ідеальним матеріалом для декоративного поверхневого покриття. Метод мокрого покриття, який використовувався раніше, має низьку адгезію плівки, низьку міцність, погану стійкість до стирання, а також проблеми із забрудненням рідкими відходами, тому його неминуче замінюють сухим покриттям. Типи мішеней включають плоску мішень, локальну композитну мішень, трубчасту мішень, локальну композитну трубчасту мішень тощо. Метод їх підготовки в основному полягає у вакуумному плавленні, травленні, холодному прокатуванні, відпалі, тонкому прокатуванні, різанні, очищенні поверхні, холодному прокатуванні композитного пакету та низці процесів, таких як підготовка процесу. Ця технологія пройшла оцінку в Китаї та дала хороші результати використання.
4. Мішень з магнітного матеріалу Мішень з магнітного матеріалу в основному використовується для покриття тонкоплівкових магнітних головок, тонкоплівкових дисків та інших магнітних тонкоплівкових пристроїв. Через використання методу магнетронного розпилення постійного струму для магнітних матеріалів магнетронне розпилення є більш складним. Тому для виготовлення таких мішеней використовуються CT-мішені з так званим «типом мішені з щілинами». Принцип полягає у вирізанні багатьох щілин на поверхні матеріалу мішені, щоб на поверхні мішені могла бути створена магнітна система розсіювання магнітного поля, завдяки чому поверхня мішені може формувати ортогональне магнітне поле та досягати мети магнетронного розпилення плівки. Кажуть, що товщина цього матеріалу мішені може досягати 20 мм.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 24 січня 2024 р.