Vakum kaplama makinesinin pompalama sisteminde aşağıdaki temel gereksinimler mevcuttur:
(1) Kaplama vakum sistemi, sadece kaplama işlemi sırasında alt tabakadan ve buharlaşan malzemelerden ve vakum odasındaki bileşenlerden salınan gazları hızla pompalamakla kalmayıp, aynı zamanda püskürtme ve iyon kaplama işleminden salınan gazları ve püskürtme ve iyon kaplama işleminin ve sistemin gaz sızıntısını da hızla pompalayabilen yeterince büyük bir pompalama hızına sahip olmalıdır.
Püskürtme ve iyon kaplama işlemi sırasında oluşan gaz sızıntısı da hızlı bir şekilde giderilebilir. Kaplama makinesinin üretkenliğini artırmak için hızlı bir şekilde çalışabilmelidir.
(2) Kaplama makinesi pompalama sisteminin nihai vakumu, farklı filmlerin gereksinimlerine göre farklı olmalıdır. Tablo 7-9, farklı filmlerin kaplama işlemi tarafından gerekli olan vakum derecesi aralığını göstermektedir.
(3) Yağ difüzyon pompasında, ana pompa pompalama sistemi pompanın yağ dönüş hızının mümkün olduğunca küçük olmasını gerektirir, çünkü dönüş yağ buharı iş parçasının yüzeyini kirletir ve filmin kalitesinin düşmesine neden olur. Film kalitesi gereksinimleri özellikle kaplama işleminde yüksek olduğundan, yağsız pompalama sistemini kullanmak en iyisidir. Yağ difüzyon pompası pompalama sistemini kullanırken, pompa girişine adsorpsiyon tuzağı, soğuk tuzak ve diğer bileşenler yerleştirilmeli ve vakum sisteminin maksimum pompalama hızını korumasını sağlamak için bileşenlerin iletkenliğine dikkat edilmelidir.
(4) Vakum kaplama haznesinin ve pompalama sisteminin sızıntı oranı küçük olmalıdır, yani eser miktarda gaz sızıntısı olsa bile filmin kalitesini etkileyecektir. Bu nedenle sistemin sızdırmazlık performansının sağlanması için sistemin toplam sızıntı oranı izin verilen aralıkla sınırlandırılmalıdır.
(5) Vakum sisteminin çalışması, kullanımı ve bakımı rahat, istikrarlı ve güvenilir bir performansa sahip olmalıdır.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayınlanma zamanı: 14-Aralık-2023