3. Alt tabaka sıcaklığının etkisi
Substrat sıcaklığı, membran büyümesi için önemli koşullardan biridir. Membran atomlarına veya moleküllerine ek enerji takviyesi sağlar ve esas olarak membran yapısını, aglütinasyon katsayısını, genleşme katsayısını ve agregasyon yoğunluğunu etkiler. Filmin kırılma indisindeki makroskobik yansıma, saçılma, stres, yapışma, sertlik ve çözünmezlik, farklı substrat sıcaklığı nedeniyle büyük ölçüde farklı olacaktır.
(1) Soğuk alt tabaka: genellikle metal filmin buharlaştırılması için kullanılır.
(2) Yüksek sıcaklığın avantajları:
① Substrat yüzeyine adsorbe olmuş artık gaz molekülleri uzaklaştırılarak, substrat ile biriken moleküller arasındaki bağlanma kuvveti artırılır;
(2) Film tabakasının fiziksel adsorpsiyonunun kimyasal adsorpsiyona dönüşümünü teşvik edin, moleküller arasındaki etkileşimi artırın, filmi sıkı hale getirin, yapışmayı artırın ve mekanik mukavemeti iyileştirin;
③ Buhar moleküler yeniden kristalleşme sıcaklığı ile alt tabaka sıcaklığı arasındaki farkı azaltın, film tabakasının yoğunluğunu artırın, iç gerilimi ortadan kaldırmak için film tabakasının sertliğini artırın.
(3) Çok yüksek sıcaklığın dezavantajı: Film tabakasının yapısı değişir veya film malzemesi parçalanır.
4. İyon bombardımanının etkileri
Kaplama sonrası bombardıman: filmin agregasyon yoğunluğunu iyileştirir, kimyasal reaksiyonu güçlendirir, oksit filmin kırılma indisini, mekanik mukavemeti ve direnci ve yapışmayı artırır. Işık hasarı eşiği artar.
5. Alt tabaka malzemesinin etkisi
(1) Alt tabaka malzemesinin farklı genleşme katsayısı, filmin farklı termal gerilimine yol açacaktır;
(2) Farklı kimyasal afinite, filmin yapışmasını ve sertliğini etkileyecektir;
(3) Alt tabakanın pürüzlülüğü ve kusurları ince film saçılmasının ana kaynaklarıdır.
6. Alt tabaka temizliğinin etkisi
Alt tabakanın yüzeyinde kir ve deterjan kalıntıları şunlara yol açacaktır: (1) filmin alt tabakaya zayıf yapışması; ② Saçılma emilimi artar, lazer önleme yeteneği zayıflar; ③ Zayıf ışık geçirgenlik performansı.
Film malzemesinin kimyasal bileşimi (saflık ve safsızlık türleri), fiziksel durumu (toz veya blok) ve ön işlemi (vakum sinterleme veya dövme) filmin yapısını ve performansını etkileyecektir.
8. Buharlaştırma yönteminin etkisi
Farklı buharlaştırma yöntemlerinin molekülleri ve atomları buharlaştırmak için sağladığı başlangıç kinetik enerjisi çok farklıdır ve bu durum filmin yapısında büyük bir farka neden olur; bu da kırılma indisi, saçılma ve yapışma farkı olarak kendini gösterir.
9. Buhar geliş açısının etkisi
Buhar insidans açısı, buhar moleküler radyasyon yönü ile kaplanmış alt tabakanın yüzey normali arasındaki açıyı ifade eder ve filmin büyüme özelliklerini ve agregasyon yoğunluğunu etkiler ve filmin kırılma indisi ve saçılma özellikleri üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Yüksek kaliteli filmler elde etmek için, genellikle 30° ile sınırlandırılması gereken film malzemesinin buhar moleküllerinin insan emisyon açısını kontrol etmek gerekir.
10. Pişirme işleminin etkileri
Filmin atmosferde ısıl işlemi, gerilimin serbest bırakılmasına ve ortam gazı moleküllerinin ve film moleküllerinin termal göçüne elverişlidir ve filmin yapısını yeniden birleştirebilir, bu nedenle filmin kırılma indisi, gerilimi ve sertliği üzerinde büyük bir etkiye sahiptir.
Gönderi zamanı: Mar-29-2024