Ang vacuum coating machine sa pumping system ay may mga sumusunod na pangunahing kinakailangan:
(1) Ang coating vacuum system ay dapat na may sapat na malaking pumping rate, na hindi lamang dapat mabilis na mag-pump out ng mga gas na inilabas mula sa substrate at evaporated na materyales at ang mga bahagi sa vacuum chamber sa panahon ng proseso ng coating, ngunit magagawa rin nitong mabilis na i-pump out ang mga gas na inilabas mula sa sputtering at ion coating na proseso, pati na rin ang gas leakage at ion coating process.
Ang pagtagas ng gas sa panahon ng sputtering at proseso ng patong ng ion ay maaari ding mabilis na makuha. Upang mapabuti ang pagiging produktibo ng coating machine, dapat itong gumana nang mabilis.
(2) Ang ultimate vacuum ng coating machine pumping system ay dapat na iba ayon sa mga kinakailangan ng iba't ibang mga pelikula. Ang talahanayan 7-9 ay ang hanay ng vacuum degree na kinakailangan ng proseso ng patong ng iba't ibang mga pelikula.
(3) Sa oil diffusion pump bilang pangunahing pump pumping system ay nangangailangan ng oil return rate ng pump ay kasing liit hangga't maaari, dahil ang return oil vapor ay magdudumi sa ibabaw ng workpiece at magiging sanhi ng pagbaba ng kalidad ng pelikula. Sa mga kinakailangan sa kalidad ng pelikula ay partikular na mataas sa proseso ng patong, ito ay pinakamahusay na gamitin ang oil-free pumping system. Kapag gumagamit ng oil diffusion pump pumping system, dapat itakda sa pump inlet adsorption trap, cold trap at iba pang mga bahagi, at dapat bigyang-pansin ang kondaktibiti ng mga bahagi upang matiyak na ang vacuum system upang mapanatili ang maximum na bilis ng pumping.
(4) Ang leakage rate ng vacuum coating chamber at ang pumping system nito ay dapat maliit, ibig sabihin, kahit na ito ay isang trace gas leakage, makakaapekto ito sa kalidad ng pelikula. Samakatuwid, upang matiyak ang pagganap ng sealing ng system, ang kabuuang rate ng pagtagas ng system ay dapat na limitado sa pinapayagang saklaw.
(5) Ang operasyon, paggamit at pagpapanatili ng vacuum system ay dapat na maginhawa, matatag at maaasahang pagganap.
–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng post: Dis-14-2023