1. Ҳадафи Chromium Chromium ҳамчун маводи филми sputtering аст, на танҳо осон ба якҷоя бо оксиген бо часпида баланд, балки хром ва оксиди ба тавлиди филми CrO3, хосиятҳои механикии он, муқовимати кислотаи, устувории гармидиҳӣ беҳтар аст. Илова бар ин, хром дар ҳолати оксидшавии нопурра инчунин метавонад як филми заиф азхудкуниро тавлид кунад. Гузориш шудааст, ки хром бо тозагии зиёда аз 98% ба ҳадафҳои росткунҷа ё ҳадафҳои хромӣ силиндрӣ табдил дода шудааст. Илова бар ин, технологияи истифодаи усули агломератсия барои сохтани ҳадафи росткунҷаи хром низ пухтааст.
2. Ҳадафи ITO Омода кардани маводи ҳадафи филми ITO, ки дар гузашта истифода мешуд, одатан маводи хӯлаи In-Sn барои сохтани ҳадафҳо истифода мешавад ва сипас дар раванди пӯшиш тавассути оксиген ва сипас тавлиди филми ITO. Ин усул барои назорат кардани гази реаксия душвор аст ва қобилияти такрорӣ дорад. Ҳамин тариқ, дар солҳои охир ҳадафи синтеризатсияи ITO иваз карда шуд. Раванди хоси ашёи мақсадноки ITO аз рӯи таносуби сифат аст, тавассути усули фрезаи тӯб пурра омехта карда мешавад ва сипас илова кардани агенти таркибии махсуси хокаи органикӣ ба шакли зарурӣ омехта карда мешавад ва тавассути фишурдани фишор ва сипас табақ дар ҳаво дар 100 ℃ / соат суръати гармидиҳӣ ба 1600 ℃ пас аз нигоҳ доштани ҳарорати 1 соат, ва пас аз 1 ℃ ҳарорати хонагӣ ва пас аз 0 0 / 0 сохта шудааст. Суръати хунуккунӣ аз 100 ℃ / соат то ҳарорати хонагӣ ва сохта шудааст. Ҳангоми сохтани ҳадафҳо, ҳавопаймои мавриди ҳадафро сайқал додан лозим аст, то дар ҷараёни пошидан аз нуқтаҳои гарм пешгирӣ карда шавад.
3.Gold ва тилло хӯлаи ҳадаф тилло, luster бенуқсон, бо муқовимати зангзании хуб, маводи молидани рӯи ороишӣ идеалӣ аст. Усули пӯшонидани тар, ки дар гузашта часпидани филм истифода мешуд, хурд, қувват паст, муқовимат ба абрешим, инчунин мушкилоти ифлосшавии моеъи партовҳо мебошад, бинобар ин, ногузир бо пластинкаи хушк иваз карда мешавад. Навъи ҳадаф ҳадафи ҳавопаймо, ҳадафи таркибии маҳаллӣ, ҳадафи қубурӣ, ҳадафи таркибии қубурии маҳаллӣ ва ғайра дорад. Усули омодасозии он асосан тавассути вояи гудохтани вакуумӣ, бодиринг, ғалтаки хунук, гармкунӣ, ғелонидани ҷарима, буридан, тозакунии рӯизаминӣ, бастаи таркибии ғелонидани сард ва як қатор равандҳо ба монанди омода кардани раванд мебошад. Ин технология аз арзёбӣ дар Чин гузашт, истифодаи натиҷаҳои хуб.
4. Ҳадафи маводи магнитӣ Ҳадафи маводи магнитӣ асосан барои пӯшидани сарлавҳаҳои магнитии филми тунук, дискҳои филми тунук ва дигар дастгоҳҳои филми магнитии тунук истифода мешавад. Аз сабаби истифодаи усули пошидани магнитронии доимӣ барои маводи магнитӣ пошидани магнитрон душвортар аст. Аз ин рӯ, барои омода кардани чунин ҳадафҳо ҳадафҳои КТ бо ба истилоҳ "навъи ҳадафи холигӣ" истифода мешаванд. Принсип ин аст, ки холигии зиёдеро дар рӯи маводи мавриди ҳадаф буред, то системаи магнитӣ дар рӯи майдони магнитии ихроҷи маводи магнитӣ тавлид шавад, то сатҳи ҳадаф метавонад майдони магнитии ортогоналиро ташкил кунад ва ба ҳадафи филми пошидани магнитрон ноил шавад. Гуфта мешавад, ки ғафсии ин маводи мавриди ҳадаф метавонад ба 20 мм мерасад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: январ-24-2024