Технологияи CVD ба реаксияи химиявӣ асос ёфтааст. Реаксияе, ки дар он реактивҳо дар ҳолати газанд ва яке аз маҳсулот дар ҳолати сахт аст, одатан реаксияи CVD номида мешавад, бинобар ин системаи реаксияи химиявии он бояд се шарти зеринро иҷро кунад.
(1) Дар ҳарорати таҳшин, реактивҳо бояд фишори баланди буғ дошта бошанд. Агар реактивҳо ҳама дар ҳарорати хонагӣ газ бошанд, дастгоҳи таҳшинкунӣ нисбатан содда аст, агар реактивҳо дар ҳарорати хонагӣ ноустувор бошанд, хеле хурд аст, онро гарм кардан лозим аст, то он ноустувор шавад ва баъзан гази интиқолдиҳандаро барои ба камераи реаксия овардан лозим аст.
(2) Аз маҳсулоти реаксия, ҳама моддаҳо бояд дар ҳолати газ бошанд, ба истиснои кони дилхоҳ, ки дар ҳолати сахт аст.
(3) Фишори буғи филми гузошташуда бояд ба қадри кофӣ паст бошад, то филми гузошташуда ба субстрате бо ҳарорати муайяни таҳшин ҳангоми реаксияи таҳшин сахт часпонида шавад. Фишори буғи маводи субстрат дар ҳарорати таҳшинкунӣ низ бояд ба қадри кофӣ паст бошад.
Реактивҳои таҳшин ба се ҳолати асосии зерин тақсим мешаванд.
(1) Ҳолати газӣ. Маводҳои манбаъҳое, ки дар ҳарорати хонагӣ газӣ мебошанд, аз қабили метан, гази карбон, аммиак, хлор ва ғайра, ки ба таҳшиншавии буғи химиявӣ бештар мусоидат мекунанд ва суръати ҷараёни онҳо ба осонӣ танзим карда мешавад.
(2) Моеъ. Баъзе моддаҳои реаксия дар ҳарорати хонагӣ ё ҳарорати каме баландтар, фишори баланди буғ вуҷуд дорад, аз қабили TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3 ва ғайра, метавонад барои интиқоли газ (ба монанди H2, N2, Ar) тавассути сатҳи моеъ ё моеъ дар дохили ҳубоб ҷорӣ шавад ва сипас буғҳои тофтаи моддаро ба студия интиқол диҳад.
(3) Ҳолати сахт. Дар сурати мавҷуд набудани манбаи мувофиқи газӣ ё моеъ, танҳо захираҳои ашёи ҳолати сахтро истифода бурдан мумкин аст. Баъзе элементҳо ё пайвастагиҳои онҳо дар садҳо дараҷа фишори назарраси буғ доранд, аз қабили TaCl5, Nbcl5, ZrCl4 ва ғайра, метавонанд бо истифода аз гази интиқолдиҳанда дар қабати плёнка ҷойгир карда шаванд.
Намуди бештар маъмул вазъият тавассути гази муайян ва маводи манбаъ реаксияи газ-сахт ё газ-моеъ, ташаккули ҷузъҳои гази мувофиқ ба расонидани студияи. Масалан, гази HCl ва металли Ga реаксия карда, ҷузъи гази GaCl -ро ташкил медиҳанд, ки он дар шакли GaCl ба студия интиқол дода мешавад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: Ноябр-16-2023