CVD தொழில்நுட்பம் வேதியியல் வினையை அடிப்படையாகக் கொண்டது. வினைபடு பொருட்கள் வாயு நிலையிலும், ஒரு தயாரிப்பு திட நிலையிலும் இருக்கும் வினை பொதுவாக CVD வினை என்று குறிப்பிடப்படுகிறது, எனவே அதன் வேதியியல் வினை அமைப்பு பின்வரும் மூன்று நிபந்தனைகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.
(1) படிவு வெப்பநிலையில், வினைபடுபொருட்கள் போதுமான அளவு அதிக நீராவி அழுத்தத்தைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். அறை வெப்பநிலையில் வினைபடுபொருட்கள் அனைத்தும் வாயுவாக இருந்தால், படிவு சாதனம் ஒப்பீட்டளவில் எளிமையானது, அறை வெப்பநிலையில் வினைபடுபொருட்கள் ஆவியாக இருந்தால் மிகவும் சிறியதாக இருந்தால், அதை ஆவியாக மாற்ற சூடாக்க வேண்டும், மேலும் சில சமயங்களில் அதை எதிர்வினை அறைக்கு கொண்டு வர கேரியர் வாயுவைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
(2) வினைப் பொருட்களில், அனைத்துப் பொருட்களும் வாயு நிலையில் இருக்க வேண்டும், விரும்பிய வைப்புத் தன்மை தவிர, அது திட நிலையில் உள்ளது.
(3) படிவு வினையின் போது, படிவு செய்யப்பட்ட படலம் ஒரு குறிப்பிட்ட படிவு வெப்பநிலையைக் கொண்ட ஒரு அடி மூலக்கூறுடன் உறுதியாக இணைக்கப்பட்டுள்ளதை உறுதி செய்யும் அளவுக்கு படிவு செய்யப்பட்ட படலத்தின் நீராவி அழுத்தம் குறைவாக இருக்க வேண்டும். படிவு வெப்பநிலையில் அடி மூலக்கூறு பொருளின் நீராவி அழுத்தமும் போதுமான அளவு குறைவாக இருக்க வேண்டும்.
படிவு வினைபடுபொருள்கள் பின்வரும் மூன்று முக்கிய நிலைகளாகப் பிரிக்கப்படுகின்றன.
(1) வாயு நிலை. அறை வெப்பநிலையில் வாயுவாக இருக்கும் மூலப் பொருட்கள், மீத்தேன், கார்பன் டை ஆக்சைடு, அம்மோனியா, குளோரின் போன்றவை, வேதியியல் நீராவி படிவுக்கு மிகவும் உகந்தவை, மேலும் ஓட்ட விகிதம் எளிதில் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.
(2) திரவம். அறை வெப்பநிலையிலோ அல்லது சற்று அதிக வெப்பநிலையிலோ சில வினைப் பொருட்கள், அதிக நீராவி அழுத்தம் இருக்கும், எடுத்துக்காட்டாக TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, போன்றவை, திரவத்தின் மேற்பரப்பு அல்லது குமிழியின் உள்ளே உள்ள திரவத்தின் வழியாக (H2, N2, Ar போன்றவை) வாயு ஓட்டத்தை எடுத்துச் செல்லவும், பின்னர் பொருளின் நிறைவுற்ற நீராவிகளை ஸ்டுடியோவிற்குள் கொண்டு செல்லவும் பயன்படுத்தப்படலாம்.
(3) திட நிலை. பொருத்தமான வாயு அல்லது திரவ மூலாதாரம் இல்லாத நிலையில், திட நிலை மூலப்பொருட்களை மட்டுமே பயன்படுத்த முடியும். சில தனிமங்கள் அல்லது அவற்றின் சேர்மங்கள் நூற்றுக்கணக்கான டிகிரிகளில் கணிசமான நீராவி அழுத்தத்தைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது TaCl5, Nbcl5, ZrCl4 போன்றவை, படல அடுக்கில் வைக்கப்பட்ட கேரியர் வாயுவைப் பயன்படுத்தி ஸ்டுடியோவிற்குள் கொண்டு செல்லப்படலாம்.
ஒரு குறிப்பிட்ட வாயு மற்றும் மூலப் பொருள் வாயு-திட அல்லது வாயு-திரவ எதிர்வினை மூலம் மிகவும் பொதுவான சூழ்நிலை வகை, ஸ்டுடியோ விநியோகத்திற்கு பொருத்தமான வாயு கூறுகளை உருவாக்குகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, HCl வாயு மற்றும் உலோக Ga ஆகியவை வினைபுரிந்து வாயு கூறு GaCl ஐ உருவாக்குகின்றன, இது GaCl வடிவத்தில் ஸ்டுடியோவிற்கு கொண்டு செல்லப்படுகிறது.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-16-2023