Vakuumbeläggningsmaskinen på pumpsystemet har följande grundläggande krav:
(1) Beläggningsvakuumsystemet bör ha en tillräckligt stor pumphastighet, som inte bara snabbt ska pumpa ut de gaser som frigörs från substratet och avdunstade material och komponenterna i vakuumkammaren under beläggningsprocessen, utan också snabbt kunna pumpa ut de gaser som frigörs från sputtering- och jonbeläggningsprocessen, såväl som gasläckage från sputtering- och jonbeläggningsprocessen och systemet.
Gasläckage under sputtering och jonbeläggningsprocessen kan också snabbt elimineras. För att förbättra beläggningsmaskinens produktivitet bör den kunna arbeta snabbt.
(2) Det slutliga vakuumet i bestrykningsmaskinens pumpsystem bör variera beroende på kraven för olika filmer. Tabell 7-9 visar det vakuumgradsområde som krävs för bestrykningsprocessen för olika filmer.
(3) I oljediffusionspumpen som huvudpumpsystem krävs att pumpens oljeåterföringshastighet är så liten som möjligt, eftersom den returnerade oljeångan förorenar arbetsstyckets yta och försämrar filmens kvalitet. I beläggningsprocessen är det särskilt höga kvalitetskrav för filmen, så det är bäst att använda ett oljefritt pumpsystem. Vid användning av oljediffusionspumpsystem bör adsorptionsfälla, köldfälla och andra komponenter i pumpens inlopp installeras, och man bör vara uppmärksam på komponenternas konduktivitet för att säkerställa att vakuumsystemet bibehåller maximal pumphastighet.
(4) Läckagehastigheten i vakuumbeläggningskammaren och dess pumpsystem bör vara liten, dvs. även om det är ett spårgasläckage kommer det att påverka filmens kvalitet. För att säkerställa systemets tätningsprestanda måste därför systemets totala läckagehastighet begränsas till det tillåtna intervallet.
(5) Drift, användning och underhåll av vakuumsystemet ska vara bekvämt, stabilt och ha tillförlitlig prestanda.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 14 december 2023