Mesin palapis vakum dina sistem ngompa ngagaduhan syarat dasar ieu:
(1) Sistem vakum palapis kedah gaduh laju ngompa anu cukup ageung, anu henteu ngan ukur gancang ngompa gas anu dileupaskeun tina substrat sareng bahan anu ngejat sareng komponén-komponén dina chamber vakum salami prosés palapis, tapi ogé tiasa gancang ngompa kaluar gas anu dileupaskeun tina sputtering sareng prosés palapis ion, ogé bocorna gas sareng prosés palapis ion.
The leakage gas salila sputtering sarta prosés palapis ion ogé bisa gancang sasari. Dina raraga ngaronjatkeun produktivitas mesin palapis, éta kudu bisa beroperasi gancang.
(2) The vakum pamungkas tina sistem ngompa mesin palapis kedah béda nurutkeun sarat tina film béda. Méja 7-9 nyaéta kisaran derajat vakum anu diperyogikeun ku prosés palapis film anu béda.
(3) Dina pompa difusi minyak salaku sistem ngompa pompa utama merlukeun laju balik minyak pompa urang téh salaku leutik mungkin, sabab uap minyak mulang bakal ngotoran beungeut workpiece jeung ngabalukarkeun kualitas film turun. Dina syarat kualitas pilem utamana luhur dina prosés palapis, éta pangalusna ngagunakeun sistem ngompa minyak-gratis. Lamun maké difusi minyak pompa sistem ngompa, kudu diatur dina pompa inlet adsorption bubu, bubu tiis sareng komponenana séjén, sarta kudu nengetan konduktivitas komponén pikeun mastikeun yén sistem vakum pikeun ngajaga speed ngompa maksimum.
(4) Laju leakage tina chamber palapis vakum sarta sistem ngompa na kedah leutik, ie, sanajan eta mangrupakeun leakage gas renik, éta bakal mangaruhan kualitas pilem. Ku alatan éta, dina urutan pikeun mastikeun kinerja sealing tina sistem, laju leakage total sistem kudu dugi ka rentang allowable.
(5) Operasi sistem vakum, pamakéan sarta perawatan kedah merenah, kinerja stabil sarta dipercaya.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Dec-14-2023