Téknologi CVD dumasar kana réaksi kimia. Réaksi dimana réaktan dina kaayaan gas sareng salah sahiji produk dina kaayaan padet biasana disebut réaksi CVD, ku kituna sistem réaksi kimiana kedah nyumponan tilu kaayaan ieu.
(1) Dina suhu déposisi, réaktan kedah gaduh tekanan uap anu cukup luhur. Upami réaktan sadayana gas dina suhu kamar, alat déposisi kawilang saderhana, upami réaktan volatile dina suhu kamar leutik pisan, éta kedah dipanaskeun supados volatile, sareng kadang-kadang kedah nganggo gas pembawa pikeun mawa ka kamar réaksi.
(2) Tina produk réaksi, sadaya zat kedah dina kaayaan gas iwal ti deposit anu dipikahoyong, anu aya dina kaayaan padet.
(3) Tekanan uap pilem disimpen kedah cukup handap pikeun mastikeun yén pilem disimpen pageuh napel substrat ngabogaan suhu déposisi tangtu salila réaksi déposisi. Tekanan uap bahan substrat dina suhu déposisi ogé kedah cukup handap.
Réaktan déposisi dibagi kana tilu kaayaan utama di handap ieu.
(1) kaayaan gas. Bahan sumber anu gas dina suhu kamar, sapertos métana, karbon dioksida, amonia, klorin, sareng sajabana, anu paling kondusif pikeun déposisi uap kimia, sareng anu laju aliranna gampang diatur.
(2) Cairan. Sababaraha zat réaksi dina suhu kamar atawa suhu rada luhur, aya tekanan uap tinggi, kayaning TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, jeung sajabana, bisa dipaké pikeun mawa gas (kayaning H2, N2, Ar) ngalir ngaliwatan beungeut cairan atawa cairan di jero gelembung, lajeng mawa uap jenuh zat kana studio.
(3) Kaayaan padet. Dina henteuna sumber gas atanapi cair anu cocog, ngan ukur bahan padet kaayaan anu tiasa dianggo. Sababaraha elemen atawa sanyawa maranéhanana dina ratusan darajat tekanan uap considerable, kayaning TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, jsb, bisa dibawa ka studio ngagunakeun gas carrier disimpen kana lapisan pilem.
Jenis kaayaan leuwih umum ngaliwatan gas tangtu jeung bahan sumber gas-padet atawa gas-cair réaksi, formasi komponén gas luyu jeung pangiriman studio. Contona, gas HCl jeung logam Ga meta pikeun ngabentuk komponén gas GaCl, nu diangkut ka studio dina bentuk GaCl.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Nov-16-2023