Машина за вакуумско премазивање на систему пумпе има следеће основне захтеве:
(1) Систем вакуумског премазивања треба да има довољно велику брзину пумпе, која не само да треба брзо да испумпа гасове ослобођене из подлоге и испарених материјала и компоненти у вакуумској комори током процеса премазивања, већ и да буде у стању да брзо испумпа гасове ослобођене током процеса распршивања и јонског премазивања, као и цурење гаса из процеса распршивања и јонског премазивања и система.
Цурење гаса током процеса распршивања и јонског премазивања такође се може брзо уклонити. Да би се побољшала продуктивност машине за премазивање, она би требало да буде у стању да ради брзо.
(2) Крајњи вакуум система пумпе машине за премазивање треба да буде различит у складу са захтевима различитих филмова. Табела 7-9 приказује опсег степена вакуума који је потребан за процес премазивања различитих филмова.
(3) Код уљне дифузионе пумпе, као главног система за пумпање, потребно је да брзина повратка уља из пумпе буде што мања, јер ће повратна уљна пара загадити површину радног предмета и довести до пада квалитета филма. Када су захтеви за квалитет филма посебно високи у процесу премазивања, најбоље је користити систем пумпе без уља. Приликом коришћења система пумпе за уљну дифузију, треба поставити адсорпциону замку, хладну замку и друге компоненте на улазу пумпе, и треба обратити пажњу на проводљивост компоненти како би се осигурало да вакуумски систем одржава максималну брзину пумпе.
(4) Брзина цурења вакуумске коморе за премазивање и њеног система за пумпање треба да буде мала, тј. чак и ако се ради о цурењу трагова гаса, то ће утицати на квалитет филма. Стога, како би се осигурале перформансе заптивања система, укупна брзина цурења система мора бити ограничена на дозвољени опсег.
(5) Рад, употреба и одржавање вакуумског система треба да буду практични, стабилни и поуздани.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 14. децембар 2023.