1. Хромна мета Хром као материјал за распршивање филма се не само лако комбинује са подлогом са високом адхезијом, већ и са хромом и оксидом за стварање CrO3 филма, његова механичка својства, отпорност на киселине и термичка стабилност су боља. Поред тога, хром у непотпуном стању оксидације такође може генерисати филм са слабом апсорпцијом. Пријављено је да се хром са чистоћом већом од 98% може прерађивати у правоугаоне или цилиндричне хромне мете. Поред тога, технологија коришћења методе синтеровања за израду правоугаоних хромних мета је такође зрела.
2. Припрема ITO мете У прошлости, ITO филм као материјал за мете је обично био направљен од легура In-Sn, а затим се у процесу премазивања стварао ITO филм. Овај метод је тешко контролисати за реакциони гас и има лошу репродуктивност. Стога је последњих година замењен ITO синтеровањем мете. Типичан процес израде ITO материјала за мете је следећи: у зависности од односа квалитета, материјал се добро помеша методом мљевења куглица, а затим се додаје посебан органски прашкасти композитни агенс, који се меша у жељени облик и сабија под притиском. Плоча се загрева на ваздуху брзином од 100 ℃/х до 1600 ℃ након 1 сата задржавања, а затим се хлади брзином од 100 ℃/х до собне температуре. Приликом израде мета, раван мете мора бити полирана, како би се избегле вруће тачке током процеса распршивања.
3. Злато и легуре злата, циљна облога од злата, шармантна је и има добру отпорност на корозију, што је идеалан материјал за декоративни површински премаз. Метода влажног наношења која се користила у прошлости има малу адхезију филма, ниску чврстоћу, лошу отпорност на хабање, као и проблеме са загађењем отпадним течностима, стога је неизбежно замењена сувом облогом. Тип мете је раван мета, локални композитни мета, цевасти мета, локални композитни цевасти мета и тако даље. Његова метода припреме је углавном кроз дозирање вакуумског топљења, кисељења, хладног ваљања, жарења, финог ваљања, сечења, чишћења површине, хладног ваљања композитног паковања и низа процеса као што је припрема процеса. Ова технологија је прошла евалуацију у Кини, примена је дала добре резултате.
4. Мета од магнетног материјала Мета од магнетног материјала се углавном користи за позлаћивање магнетних глава са танким филмом, дискова са танким филмом и других магнетних уређаја са танким филмом. Због употребе методе магнетног распршивања једносмерном струјом за магнетне материјале, магнетронско распршивање је теже. Стога се за припрему таквих мета користе CT мете са такозваним „типом мете са празнинама“. Принцип је да се на површини материјала мете исеку многи празнине како би се магнетни систем могао генерисати на површини мете магнетног материјала, тако да површина мете може формирати ортогонално магнетно поље и постићи сврху магнетног распршивања филма. Каже се да дебљина овог материјала мете може достићи 20 мм.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 24. јануар 2024.