3. Утицај температуре подлоге
Температура подлоге је један од важних услова за раст мембране. Она обезбеђује додатни енергетски додатак атомима или молекулима мембране и углавном утиче на структуру мембране, коефицијент аглутинације, коефицијент ширења и густину агрегације. Макроскопска рефлексија у индексу преламања, расејање, напон, адхезија, тврдоћа и нерастворљивост филма биће значајно различити због различите температуре подлоге.
(1) Хладна подлога: генерално се користи за испаравање металног филма.
(2) Предности високе температуре:
① Молекули преосталог гаса адсорбовани на површини подлоге се уклањају како би се повећала сила везивања између подлоге и наталожених молекула;
(2) Промовисати трансформацију физичке адсорпције у хемисорпцију филмског слоја, побољшати интеракцију између молекула, учинити филм чврстим, повећати адхезију и побољшати механичку чврстоћу;
③ Смањите разлику између температуре молекуларне рекристализације паре и температуре подлоге, побољшајте густину филмског слоја, повећајте тврдоћу филмског слоја како бисте елиминисали унутрашњи напон.
(3) Недостатак превисоке температуре: структура филмског слоја се мења или се филмски материјал разлаже.
4. Ефекти јонског бомбардовања
Бомбардовање након превлачивања: побољшава густину агрегације филма, појачава хемијску реакцију, повећава индекс преламања оксидног филма, механичку чврстоћу и отпорност и адхезију. Повећава праг оштећења од светлости.
5. Утицај материјала подлоге
(1) Различити коефицијент ширења материјала подлоге довешће до различитог термичког напрезања филма;
(2) Различити хемијски афинитет ће утицати на адхезију и чврстину филма;
(3) Храпавост и дефекти подлоге су главни извори расејања танких филмова.
6. Утицај чишћења подлоге
Остаци прљавштине и детерџента на површини подлоге довешће до: (1) лошег приањања филма на подлогу; ② Повећава се апсорпција расејања, што смањује отпорност на ласер; ③ Слаби пренос светлости.
Хемијски састав (врсте чистоће и нечистоћа), физичко стање (прах или блок) и претходна обрада (вакуумско синтеровање или ковање) филмског материјала утицаће на структуру и перформансе филма.
8. Утицај методе испаравања
Почетна кинетичка енергија коју обезбеђују различите методе испаравања за испаравање молекула и атома је веома различита, што резултира великом разликом у структури филма, што се манифестује као разлика у индексу преламања, расејању и адхезији.
9. Утицај угла упада паре
Угао упада паре односи се на угао између правца молекуларног зрачења паре и нормале површине премазане подлоге, што утиче на карактеристике раста и густину агрегације филма, и има велики утицај на индекс преламања и карактеристике расејања филма. Да би се добили висококвалитетни филмови, неопходно је контролисати угао емисије молекула паре филмског материјала, који генерално треба да буде ограничен на 30°.
10. Ефекти печења
Термичка обрада филма у атмосфери погодује ослобађању напона и термичкој миграцији молекула околног гаса и молекула филма, и може довести до рекомбинације структуре филма, тако да има велики утицај на индекс преламања, напоне и тврдоћу филма.
Време објаве: 29. март 2024.