Tignoolajiyada CVD waxay ku salaysan tahay falcelinta kiimikaad. Dareen-celinta ay fal-celinta fal-celintu ay ku sugan tahay xaalad gaas ah oo mid ka mid ah alaabooyinka ay ku sugan tahay xaalad adag waxaa badanaa loo tixraacaa fal-celinta CVD, sidaas darteed nidaamkeeda fal-celinta kiimikada waa in ay buuxisaa shuruudaha soo socda.
(1) Heerkulka meelaynta, fal-celiyeyaasha waa inay lahaadaan cadaadis sare oo ku filan. Haddii fal-celiyeyaasha ay dhamaantood yihiin gaas heer-kulka qolka, aaladda dejintu waa mid fudud, haddii fal-celiyayaashu ay kacsan yihiin heerkulka qolka aad ayuu u yar yahay, waxay u baahan tahay in la kululeeyo si ay u noqoto mid kacsan, mararka qaarkoodna waxay u baahan tahay inay isticmaasho gaasta siday si ay ugu keento qolka falcelinta.
(2) Badeecooyinka falcelinta, dhammaan walxaha waa inay ku jiraan gobolka gaaska marka laga reebo dhigaalka la rabo, kaas oo ku jira xaalad adag.
(3) Cadaadiska uumiga ee filimka la shubay waa inuu ahaadaa mid hooseeya oo ku filan si loo hubiyo in filimka la shubay uu si adag ugu xiran yahay substrate leh heerkul meel gaar ah inta lagu jiro falcelinta dhigaalka. Cadaadiska uumiga ee walxaha substrate-ka ee heerkulka kaydinta waa inuu ahaado mid hooseeya oo ku filan.
Dareen-celinta kaydinta waxay u qaybsan tahay saddexda gobol ee soo socda.
(1) Gobolka Gaaska. Maaddooyinka laga helo ee gaasku ku badan yahay heerkulka qolka, sida methane, carbon dioxide, ammonia, chlorine, iwm, kuwaas oo aad ugu fiican kaydinta uumiga kiimikaad, oo heerka socodka si fudud loo maamulo.
(2) dareere. Walxaha falcelinta qaarkood ee heerkulka qolka ama heerkul wax yar ka sarreeya, waxaa jira cadaadis sare oo uumiga ah, sida TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, iwm., waxaa loo isticmaali karaa in lagu qaado gaaska (sida H2, N2, Ar) dhex qulqulaya dusha dareeraha ama dareeraha gudaha xumbo, ka dibna qaado uumiga buuxa ee walaxda galay studio.
(3) Xaalad adag. Maqnaanshaha il ku habboon gaas ama dareere, kaliya quudinta gobolka adag ayaa la isticmaali karaa. Cutubyo ama xeryahooda boqollaal darajo waxay leeyihiin cadaadis uumiga oo aad u badan, sida TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, iwm., waxaa lagu qaadi karaa istuudiyaha iyadoo la isticmaalayo gaaska qaadaha ee lagu shubo lakabka filimka.
The more caadiga ah nooca xaaladda iyada oo gaas gaar ah iyo isha walxaha gaas adag ama falcelinta dareere gaaska, formation of qaybaha gaseous habboon in bixinta studio. Tusaale ahaan, gaaska HCl iyo birta Ga waxay ka falceliyaan si ay u sameeyaan qayb gaas ah GaCl, kaas oo loo qaado istuudiyaha qaabka GaCl.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Nov-16-2023