Sputter deposition machines, e taʻua foi o sputtering system, o mea faʻapitoa faʻapitoa e faʻaaogaina i le faʻaogaina o ata manifinifi. E galue i luga o le mataupu faavae o le sputtering, lea e aofia ai le pomuina o se mea faʻatatau i ions maualuga-malosi po o atoms. O le fa'agasologa e fa'aosoina ai se tafega o atoms mai se mea fa'atatau, ona tu'u lea i luga o se mea'ai e fai ai se ata manifinifi.
O le faʻaogaina o masini faʻapipiʻi sputter ua matua faʻalauteleina ona o lo latou gafatia e gaosia ata tifaga maualuga maualuga, tulaga lelei lelei ma le mafiafia pulea. O ia ata tifaga e tele faʻaoga i microelectronics, optics, solar cell, faʻasalalauga faʻapipiʻi maneta ma isi fanua.
O atina'e lata mai i le tulaga o masini fa'apipi'i sputter ua i'u ai i le fa'aleleia atili o galuega ma fa'aleleia uiga. O se fa'agasolo mata'ina o le tu'ufa'atasia lea o le magnetron sputtering technology, lea e mafai ai ona maualuga le fa'aputuina ma fa'aleleia atili le lelei o ata. O lenei mea fou e mafai ai ona faʻapipiʻiina mea eseese, e aofia ai metals, metal oxides ma semiconductors.
E le gata i lea, ua fa'apipi'iina nei masini fa'apipi'i fa'ama'i ma faiga fa'atonu e fa'amautinoa ai le pulea sa'o o fa'aputuga e pei o le mamafa o le kesi, malosi malosi, fa'atulagaina fa'atatau ma le vevela o le substrate. O nei aga'i i luma e fa'aleleia ai le fa'atinoga o ata ma mafai ai ona gaosia ata ma mea totino e fa'atatau i fa'aoga fa'apitoa.
E le gata i lea, o le faʻaauauina o le atinaʻe i le matata o le nanotechnology e faʻamanuiaina tele foi mai masini faʻapipiʻi sputter. O loʻo faʻaogaina e le au suʻesuʻe ia masini e fausia ai nanostructures ma nanostructured coatings ma le maualuga maualuga. Sputter deposition machines e mafai ona teuina ni ata manifinifi i luga o foliga lavelave ma vaega tetele, ma avea ai ma mea lelei mo le tele o talosaga nanoscale.
Na lipotia talu ai nei e faapea o se vaega o saienitisi mai se faalapotopotoga suʻesuʻe taʻutaʻua ua manuia le atinaʻeina o se masini faʻapipiʻi sputter fou e mafai ona teuina ni ata manifinifi ma le saʻo e leʻi tupu muamua. O lenei masini mata'utia e tu'ufa'atasia ai fa'atonuga fa'atonutonu fa'aonaponei ma se fa'ata'ita'iga magnetron fou e ausia ai le tulaga maualuga o ata tifaga ma le pulea mafiafia. O le au suʻesuʻe e vaʻavaʻai lana masini o le a faʻafouina le gaosiga o gaosiga o masini faʻaeletoroni e sosoo ai ma le faʻaogaina o le malosi.
O le atina'eina o mea fou fa'atasi ai ma le fa'aleleia o galuega fa'atino o se sailiga faifaipea a le sosaiete fa'asaienisi. Sputter deposition machines ua avea ma meafaigaluega taua i lenei suʻesuʻega, faʻafaigofie le mauaina ma le tuʻufaʻatasia o mea fou ma mea faʻapitoa. O lo'o fa'aogaina e le au su'esu'e ia masini e su'esu'e ai le fa'atupuina o ata tifaga, su'esu'e mea e fa'atatau i mea totino, ma su'esu'e mea fou e mafai ona fa'atusaina ai le lumana'i o tekonolosi.
-O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Oke-30-2023