O le faʻapipiʻiina o masini e aofia ai le faʻaogaina o le vacuum vacuum, sputtering coating ma le ion coating, o ia mea uma e faʻaaogaina e teu ai uʻamea eseese ma ata e le o ni uʻamea i luga o le pito i luga o vaega palasitika e ala i le distillation poʻo le sputtering i lalo o tulaga gaogao, lea e mafai ona maua ai se mea manifinifi pito i luga ma le tulaga sili ona lelei o le pipii vave, ae o le tau e sili atu le maualuga, ma e mafai ona faʻaaogaina ituaiga o uʻamea. oloa maualuluga.
Vacuum vapor deposition o se auala e faʻamafanafanaina ai le uamea i lalo o le maualuga maualuga, faʻafefeteina, faʻafefe, ma fausia ai se ata uʻamea manifinifi i luga o le faʻataʻitaʻiga pe a maeʻa le malulu, ma le mafiafia o le 0.8-1.2 um. E faʻatumuina i le vaega concave ma convex laiti i luga o le fogāeleele o le oloa fausia e maua ai se faʻata-pei surface.When vacuum vapor deposition e faia pe maua ai se faʻata faʻataʻitaʻiga aafiaga po o le vacuum vaporize se uʻamea ma le adhesion maualalo, e tatau ona ufiufi le pito i lalo.
Sputtering e masani ona faasino i le magnetron sputtering, o se auala maualuga-maualalo-maualalo sputtering auala. O le faagasologa e manaʻomia ai se gaogao e uiga i le 1 × 10-3Torr, o le 1.3 × 10-3Pa vacuum state ua tumu i argon gas inert (Ar), ma i le va o le palasitika substrate (anode) ma le sini uʻamea (cathode) faʻatasi ai ma le maualuga-voltage tuusaʻo i le taimi nei, ona o le eletise eletise o le kasa inert e gaosia e le susulu o le plasma, o le a faʻapipiʻiina le plasma atomea. latou i luga o le mea'ai palasitika. O le tele o pa'u u'amea lautele e fa'aaogaina le DC sputtering, a'o mea e le fa'aaogaina sima e fa'aogaina ai le RF AC sputtering.
Ion coating o se metotia lea e faʻaaogaina ai le faʻamalo o le kesi e faʻamalo ai se vaega o le kesi poʻo le mea ua faʻamama i lalo o tulaga gaogao, ma o le mea faʻamama poʻo ona mea faʻafefe o loʻo teuina i luga o le substrate e ala i le pomuina o kesi poʻo ions o le mea faʻafefe. O ia mea e aofia ai le fa'apipi'iina o le ion o le magnetron sputtering, le fa'afefe o le ion reactive, le ufiufi o le ion o le cathode o'o'o (auto'a le tu'uina o le ausa o le cathode), ma le fa'apipi'iina o le tele-arc ion (cathode arc ion coating).
Tusa'o itu lua magnetron sputtering fa'alavalava fa'aauau i laina
Fa'aoga lautele, e mafai ona fa'aoga mo mea fa'aeletoroni e pei o le api api EMI fa'apipi'i puipui, oloa mafolafola, ma e o'o lava i oloa ipu moli uma i totonu o se fa'amatalaga maualuga e mafai ona gaosia. Lafoa'i uta gafatia, fa'apipi'i fa'apipi'i ma fa'ata'ape'apeina o ipu malamalama conical mo le fa'apipi'i lua itu, lea e mafai ona tele atu le gafatia o uta. Tulaga lelei, lelei lelei o le faʻapipiʻi ata mai lea vaega i lea vaega. Tulaga maualuga o le fa'aautomatika ma le tau maualalo o tagata faigaluega.
-O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Ian-23-2025