O le tekonolosi CVD e fa'avae i luga o fa'a'avega fa'ama'i. O le tali lea o loʻo i ai le mea faʻafefe i le kasa ma o se tasi o oloa o loʻo i totonu o le tulaga mautu e masani lava ona taʻua o le CVD reaction, o le mea lea e tatau ai ona faʻataunuʻuina e lona faiga faʻainisinia tulaga nei e tolu.
(1) I le vevela o le tu'uina, e tatau ona lava le maualuga o le mamafa o le ausa. Afai o le reactants e kasa uma i le vevela o le potu, o le masini deposition e fai si faigofie, pe afai o le reactants e volatile i le vevela o le potu e matua laʻititi, e tatau ona faʻavevela ina ia faʻafefe, ma o nisi taimi e manaʻomia ai le faʻaogaina o le kasa e aumai ai i le potu tali.
(2) O mea e tali mai, o mea uma e tatau ona i ai i le tulaga kasa sei vagana ai le teuina o loʻo manaʻomia, o loʻo i totonu o le tulaga mautu.
(3) O le mamafa o le ausa o le ata na teuina e tatau ona lava le maualalo e faʻamautinoa ai o loʻo faʻapipiʻi mau le ata na teuina i se mea faʻapipiʻi o loʻo i ai se vevela faʻapitoa i le taimi o le faʻafefe. O le mamafa o le ausa o mea faʻapipiʻi i le vevela o le tuʻuina e tatau foi ona lava le maualalo.
O mea fa'afefete fa'aputu ua vaevaeina i setete autu nei e tolu.
(1) Tulaga kasa. O mea fa'apogai e kasa i le vevela o le potu, e pei o le methane, carbon dioxide, ammonia, chlorine, ma isi mea, e sili ona fa'aogaina i le fa'aputuina o ausa vaila'au, ma e faigofie ai ona fa'atonu le fua o le tafe.
(2) Suavai. O nisi o mea e tali atu i le vevela o le potu poʻo le maualuga o le vevela, o loʻo i ai le maualuga o le ausa, e pei o le TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, ma isi, e mafai ona faʻaaogaina e ave ai le kesi (e pei o le H2, N2, Ar) e tafe atu i luga o le vai poʻo le vai i totonu o le pulu, ona ave lea o asu tumu o le mea i totonu o le potu.
(3) Tulaga mautu. I le leai o se kasa talafeagai po'o se puna vai, na'o mea'ai fa'ameamea e mafai ona fa'aogaina. O nisi elemene poʻo latou faʻapipiʻi i le faitau selau o tikeri e iai le mamafa o le ausa, e pei o le TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, ma isi, e mafai ona ave i totonu o le potu e faʻaaoga ai le kesi o loʻo teuina i totonu o le ata tifaga.
O le tulaga sili ona taatele ituaiga e ala i se kasa faapitoa ma le puna mea kesi-malosi po o le kesi-suava tali, le faʻavaeina o vaega kasa talafeagai i le tuʻuina atu potu. Mo se fa'ata'ita'iga, o le kasa HCl ma le u'amea Ga fa'afoliga e fai ai se vaega ga'o GaCl, lea e momoli atu i le potu i le tulaga o le GaCl.
-O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Nov-16-2023