Vakuumski premazni stroj na črpalnem sistemu ima naslednje osnovne zahteve:
(1) Vakuumski sistem za nanašanje premazov mora imeti dovolj veliko črpalno hitrost, ki ne sme le hitro izčrpati plinov, ki se sproščajo iz substrata in izhlapenih materialov ter komponent v vakuumski komori med postopkom nanašanja premazov, temveč mora biti sposoben tudi hitro izčrpati pline, ki se sproščajo med postopkom razprševanja in ionskega nanašanja, ter preprečiti uhajanje plinov med postopkom razprševanja in ionskega nanašanja ter sistemom.
Uhajanje plina med postopkom naprševanja in ionskega nanašanja je mogoče tudi hitro odstraniti. Za izboljšanje produktivnosti stroja za nanašanje premazov mora biti ta sposoben delovati hitro.
(2) Končni vakuum črpalnega sistema premaznega stroja se mora razlikovati glede na zahteve različnih folij. Tabela 7-9 prikazuje razpon stopenj vakuuma, ki jih zahteva postopek nanašanja različnih folij.
(3) Pri oljni difuzijski črpalki kot glavni črpalni sistem je potrebna čim manjša hitrost vračanja olja, saj vračajoča se oljna para onesnažuje površino obdelovanca in povzroča zmanjšanje kakovosti filma. Ker so zahteve glede kakovosti filma še posebej visoke pri postopku nanašanja premaza, je najbolje uporabiti črpalni sistem brez olja. Pri uporabi črpalnega sistema oljne difuzijske črpalke je treba na vhodu črpalke namestiti adsorpcijsko past, hladno past in druge komponente ter biti pozoren na prevodnost komponent, da se zagotovi največja hitrost črpanja v vakuumskem sistemu.
(4) Stopnja puščanja vakuumske komore za premazovanje in njenega črpalnega sistema mora biti majhna, tj. tudi če gre za puščanje sledi plina, bo to vplivalo na kakovost filma. Zato mora biti za zagotovitev tesnilne učinkovitosti sistema skupna stopnja puščanja sistema omejena na dovoljeno območje.
(5) Delovanje, uporaba in vzdrževanje vakuumskega sistema morajo biti priročni, stabilni in zanesljivi.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 14. dec. 2023