1. Kromova tarča Krom kot material za razpršilni film se ne le enostavno kombinira s podlago in zagotavlja visoko adhezijo, temveč tudi krom in oksid ustvarjata film CrO3, ki ima boljše mehanske lastnosti, odpornost na kisline in toplotno stabilnost. Poleg tega lahko krom v nepopolnem oksidacijskem stanju ustvari tudi šibko absorpcijsko folijo. Poročali so, da se krom s čistoto več kot 98 % uporablja za izdelavo pravokotnih ali valjastih kromovih tarč. Poleg tega je tehnologija sintranja za izdelavo pravokotnih kromovih tarč prav tako zrela.
2. Priprava ITO filma za tarčo V preteklosti so se za izdelavo tarč običajno uporabljale zlitine In-Sn, nato pa se je v postopku nanašanja s kisikom ustvaril ITO film. Ta metoda je težko nadzorovati reakcijski plin in ima slabo ponovljivost. Zato so jo v zadnjih letih nadomestile ITO tarče za sintranje. Tipičen postopek za ITO tarčo je, da se material, ki se pridobi iz mletja s kroglicami, temeljito premeša, nato se doda poseben organski praškasti kompozitni material, ki se zmeša v želeno obliko in se s stiskanjem pod pritiskom zmelje na zraku s hitrostjo 100 °C/h. Po 1 uri se plošča segreje na 1600 °C, nato se ohladi na sobno temperaturo s hitrostjo 100 °C/h. Nato se plošča ohladi na sobno temperaturo s hitrostjo 100 °C/h. Pri izdelavi tarč je treba ravnino tarče polirati, da se prepreči nastanek vročih točk med postopkom razprševanja.
3. Zlato in zlate zlitine, tarča iz zlata, ima očarljiv sijaj in dobro odpornost proti koroziji ter je idealen material za dekorativne površinske premaze. Mokra galvanizacija, ki se je uporabljala v preteklosti, ima majhen oprijem filma, nizko trdnost, slabo odpornost proti obrabi in težave z onesnaženjem z odpadnimi tekočinami, zato jo je neizogibno nadomestila suha galvanizacija. Vrsta tarče je ravna tarča, lokalna kompozitna tarča, cevasta tarča, lokalna kompozitna tarča in tako naprej. Njena metoda priprave vključuje predvsem doziranje vakuumskega taljenja, dekapiranja, hladnega valjanja, žarjenja, finega valjanja, striženja, površinskega čiščenja, hladnega valjanja kompozitnega paketa in vrsto postopkov, kot je priprava. Ta tehnologija je bila na Kitajskem ocenjena in je dala dobre rezultate.
4. Magnetni material Tarča iz magnetnega materiala se uporablja predvsem za nanašanje tankoplastnih magnetnih glav, tankoplastnih diskov in drugih magnetnih tankoplastnih naprav. Zaradi uporabe enosmernega magnetronskega razprševanja magnetnih materialov je magnetronsko razprševanje težje. Zato se za pripravo takšnih tarč uporabljajo CT tarče s tako imenovano "vrsto tarče z režo". Načelo je, da se na površini tarčnega materiala izreže veliko rež, tako da se na površini tarčnega materiala ustvari magnetni sistem, ki uhaja magnetno polje, tako da površina tarče lahko tvori ortogonalno magnetno polje in doseže namen magnetronskega razprševanja. Debelina tega tarčnega materiala naj bi dosegla 20 mm.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 24. januar 2024