Vákuový nanášací stroj na čerpacom systéme má nasledujúce základné požiadavky:
(1) Vákuový systém na nanášanie povlakov by mal mať dostatočne veľký čerpací výkon, ktorý by mal nielen rýchlo odčerpávať plyny uvoľnené zo substrátu a odparených materiálov a zložiek vo vákuovej komore počas procesu nanášania povlakov, ale mal by byť tiež schopný rýchlo odčerpať plyny uvoľnené z procesu naprašovania a iónového nanášania, ako aj únik plynu z procesu naprašovania a iónového nanášania a systému.
Únik plynu počas procesu naprašovania a iónového povlakovania je tiež možné rýchlo odstrániť. Aby sa zvýšila produktivita povlakovacieho stroja, mal by byť schopný pracovať rýchlo.
(2) Konečné vákuum čerpacieho systému nanášacieho stroja by sa malo líšiť v závislosti od požiadaviek rôznych fólií. Tabuľka 7-9 zobrazuje rozsah stupňov vákua potrebných pre proces nanášania rôznych fólií.
(3) V olejovom difúznom čerpadle ako hlavnom čerpacom systéme sa vyžaduje čo najmenšia návratnosť oleja z čerpadla, pretože návratná olejová para znečisťuje povrch obrobku a znižuje kvalitu filmu. Keďže požiadavky na kvalitu filmu sú obzvlášť vysoké v procese nanášania povlakov, je najlepšie použiť bezolejový čerpací systém. Pri použití olejového difúzneho čerpadla by sa mal na vstupe čerpadla nainštalovať adsorpčný lapač, chladiaci lapač a ďalšie komponenty a mala by sa venovať pozornosť vodivosti komponentov, aby sa zabezpečila maximálna rýchlosť čerpania vákuového systému.
(4) Miera úniku z vákuovej nanášacej komory a jej čerpacieho systému by mala byť malá, t. j. aj stopový únik plynu ovplyvní kvalitu filmu. Preto, aby sa zabezpečila tesniaca účinnosť systému, celková miera úniku systému musí byť obmedzená na povolený rozsah.
(5) Prevádzka, používanie a údržba vákuového systému by mali byť pohodlné, stabilné a spoľahlivé.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 14. decembra 2023