1. Chrómový terč Chróm ako materiál na naprašovanie sa nielen ľahko kombinuje so substrátom s vysokou adhéziou, ale aj s chrómom a oxidom za vzniku filmu CrO3, jeho mechanické vlastnosti, odolnosť voči kyselinám a tepelná stabilita sú lepšie. Okrem toho, chróm v neúplnom oxidačnom stave môže tiež vytvárať slabo absorpčný film. Bolo hlásené, že chróm s čistotou viac ako 98 % sa môže použiť na výrobu obdĺžnikových alebo valcových chrómových terčov. Okrem toho je technológia použitia metódy spekania na výrobu obdĺžnikových chrómových terčov tiež pokročilá.
2. Príprava ITO terča ITO filmový terč sa v minulosti používal na výrobu terčov, zvyčajne zo zliatin In-Sn, ktoré sa potom nanášali pomocou kyslíka a následne sa vytvoril ITO film. Táto metóda je náročná na kontrolu reakčného plynu a má nízku reprodukovateľnosť. Preto sa v posledných rokoch nahradila spekaním ITO terča. Typický proces výroby ITO terča spočíva v tom, že sa podľa pomeru kvality dôkladne premieša metódou guľového mletia, po ktorej sa pridá špeciálny organický práškový kompozitný materiál, ktorý sa zmieša do požadovaného tvaru a tlakovým zhutnením sa doska zahrieva na vzduchu pri rýchlosti 100 °C/h na 1600 °C po 1 hodine a potom sa ochladí rýchlosťou 100 °C/h na izbovú teplotu. Rýchlosť ochladzovania 100 °C/h na izbovú teplotu sa zníži na izbovú teplotu. Pri výrobe terčov je potrebné vyleštiť rovinu terča, aby sa predišlo vzniku horúcich miest počas procesu naprašovania.
3. Zlato a zlaté zliatiny ako terč na pokovovanie, očarujúce leskom a dobrou odolnosťou proti korózii, sú ideálnym dekoratívnym povrchovým náterovým materiálom. Mokrá pokovovacia metóda používaná v minulosti mala malú priľnavosť filmu, nízku pevnosť, slabú odolnosť proti oderu a problémy so znečistením odpadovými kvapalinami, preto bola nevyhnutne nahradená suchým pokovovaním. Terč má rovinný, lokálny kompozitný, rúrkový a lokálny kompozitný rúrkový terč. Jeho príprava spočíva hlavne v dávkovaní vákuového tavenia, morení, valcovaní za studena, žíhaní, jemnom valcovaní, strihaní, čistení povrchu, valcovaní za studena a sérii procesov, ako je príprava procesu. Táto technológia prešla v Číne schválením a priniesla dobré výsledky.
4. Magnetický materiál terča Magnetický materiál terča sa používa hlavne na pokovovanie tenkovrstvových magnetických hláv, tenkovrstvových diskov a iných magnetických tenkovrstvových zariadení. Vzhľadom na použitie metódy jednosmerného magnetrónového naprašovania magnetických materiálov je magnetrónové naprašovanie náročnejšie. Preto sa na prípravu takýchto terčov používajú CT terče s takzvaným „typom terča s medzerou“. Princípom je vyrezať na povrchu terča veľa medzier, aby sa na povrchu terča mohol vytvoriť magnetický systém rozptyľovacieho magnetického poľa, takže povrch terča môže vytvoriť ortogonálne magnetické pole a dosiahnuť účel magnetrónového naprašovania. Hrúbka tohto terča môže dosiahnuť 20 mm.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 24. januára 2024