රික්තක ආලේපනයට ප්රධාන වශයෙන් රික්තක වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම, ඉසින ආලේපනය සහ අයන ආලේපනය ඇතුළත් වන අතර, මේ සියල්ල රික්තක තත්වයන් යටතේ ආසවනය හෝ ඉසීම මගින් ප්ලාස්ටික් කොටස් මතුපිට විවිධ ලෝහ සහ ලෝහ නොවන පටල තැන්පත් කිරීමට භාවිතා කරයි, එමඟින් වේගවත් ඇලවීමේ කැපී පෙනෙන වාසියක් සහිත ඉතා තුනී මතුපිට ආලේපනයක් ලබා ගත හැකිය. නමුත් මිල ද වැඩි වන අතර ක්රියාත්මක කළ හැකි ලෝහ වර්ග අඩු වන අතර සාමාන්යයෙන් ඉහළ ශ්රේණියේ නිෂ්පාදනවල ක්රියාකාරී ආලේපනය සඳහා භාවිතා වේ.
රික්ත වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම යනු ඉහළ රික්තයක් යටතේ ලෝහය රත් කිරීමේ ක්රමයකි, එය උණු කිරීම, වාෂ්ප කිරීම සහ සිසිලනයෙන් පසු සාම්පලයේ මතුපිට තුනී ලෝහ පටලයක් සෑදීම, 0.8-1.2 um ඝණකමකින් යුක්ත වේ. එය කැඩපතක් වැනි මතුපිටක් ලබා ගැනීම සඳහා සාදන ලද නිෂ්පාදනයේ මතුපිට ඇති කුඩා අවතල සහ උත්තල කොටස් පුරවයි. පරාවර්තක දර්පණ ආචරණයක් ලබා ගැනීම සඳහා හෝ අඩු ඇලවීමක් සහිත වානේ රික්ත කිරීම සඳහා රික්ත වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම සිදු කරන විට, පහළ මතුපිට ආලේප කළ යුතුය.
ස්පුටරින් කිරීම සාමාන්යයෙන් මැග්නට්රෝන ස්පුටරින් කිරීම ගැන සඳහන් කරයි, එය අධිවේගී අඩු-උෂ්ණත්ව ස්පුටරින් ක්රමයකි. මෙම ක්රියාවලියට 1×10-3Torr පමණ රික්තයක් අවශ්ය වේ, එනම් 1.3×10-3Pa නිෂ්ක්රීය වායු ආගන් (Ar) වලින් පිරුණු රික්ත තත්වයක් වන අතර, ප්ලාස්ටික් උපස්ථරය (ඇනෝඩය) සහ ලෝහ ඉලක්කය (කැතෝඩය) සහ අධි වෝල්ටීයතා සෘජු ධාරාව අතර, දිලිසෙන විසර්ජනය මගින් ජනනය වන නිෂ්ක්රීය වායුවේ ඉලෙක්ට්රෝන උද්දීපනය හේතුවෙන්, ප්ලාස්මා නිපදවන අතර, ප්ලාස්මා ලෝහ ඉලක්කයේ පරමාණු පුපුරවා හැර ප්ලාස්ටික් උපස්ථරය මත තැන්පත් කරයි. බොහෝ සාමාන්ය ලෝහ ආලේපන DC ස්පුටරින් භාවිතා කරන අතර, සන්නායක නොවන සෙරමික් ද්රව්ය RF AC ස්පුටරින් භාවිතා කරයි.
අයන ආලේපනය යනු රික්ත තත්වයන් යටතේ වායුව හෝ වාෂ්පීකරණය වූ ද්රව්යය අර්ධ වශයෙන් අයනීකරණය කිරීම සඳහා වායු විසර්ජනයක් භාවිතා කරන ක්රමයක් වන අතර, වාෂ්පීකරණය වූ ද්රව්යය හෝ එහි ප්රතික්රියාකාරක වාෂ්පීකරණය වූ ද්රව්යයේ වායු අයන හෝ අයන බෝම්බ හෙලීමෙන් උපස්ථරය මත තැන්පත් වේ. මේවාට මැග්නටෝන ස්පුටරින් අයන ආලේපනය, ප්රතික්රියාශීලී අයන ආලේපනය, කුහර කැතෝඩ විසර්ජන අයන ආලේපනය (කුහර කැතෝඩ වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රමය) සහ බහු-චාප අයන ආලේපනය (කැතෝඩ චාප අයන ආලේපනය) ඇතුළත් වේ.
සිරස් ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය මැග්නට්රෝන ඉසින අඛණ්ඩ ආලේපනය පේළියේ
පුළුල් ලෙස අදාළ වීම, නෝට්බුක් කවච EMI ආවරණ ස්ථරය, පැතලි නිෂ්පාදන වැනි ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන සඳහා භාවිතා කළ හැකි අතර, යම් උස පිරිවිතරයක් තුළ ඇති සියලුම ලාම්පු කෝප්ප නිෂ්පාදන පවා නිෂ්පාදනය කළ හැකිය. විශාල පැටවීමේ ධාරිතාව, සංයුක්ත කලම්ප සහ ද්විත්ව ඒකපාර්ශ්වික ආලේපනය සඳහා කේතුකාකාර ආලෝක කෝප්පවල එකතැන පල්වෙන කලම්ප, විශාල පැටවීමේ ධාරිතාවක් තිබිය හැකිය. ස්ථාවර ගුණාත්මකභාවය, කණ්ඩායමෙන් කණ්ඩායමට පටල ස්ථරයේ හොඳ අනුකූලතාව. ඉහළ මට්ටමේ ස්වයංක්රීයකරණය සහ අඩු ධාවන ශ්රම පිරිවැය.
–මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයාGuangdong Zhenhua
පළ කළ කාලය: ජනවාරි-23-2025