سي وي ڊي ٽيڪنالاجي جي ڪم ڪندڙ اصول

سي وي ڊي ٽيڪنالاجي ڪيميائي رد عمل تي ٻڌل آهي. اهو رد عمل جنهن ۾ ري ايڪٽنٽ گيس واري حالت ۾ هوندا آهن ۽ هڪ پيداوار مضبوط حالت ۾ هوندي آهي ان کي عام طور تي سي وي ڊي رد عمل چيو ويندو آهي، تنهن ڪري ان جي ڪيميائي رد عمل واري نظام کي هيٺ ڏنل ٽن شرطن کي پورو ڪرڻ گهرجي.

(1) جمع ڪرڻ واري گرمي پد تي، ري ايڪٽنٽ جو بخارات جو دٻاءُ ڪافي بلند هجڻ گهرجي. جيڪڏهن ري ايڪٽنٽ ڪمري جي حرارت تي سڀ گيس وارا آهن، ته جمع ڪرڻ وارو اوزار نسبتاً سادو آهي، جيڪڏهن ري ايڪٽنٽ ڪمري جي حرارت تي غير مستحڪم آهن ته تمام ننڍو آهي، ان کي غير مستحڪم بڻائڻ لاءِ گرم ڪرڻ جي ضرورت آهي، ۽ ڪڏهن ڪڏهن ان کي رد عمل چيمبر ۾ آڻڻ لاءِ ڪيريئر گيس استعمال ڪرڻ جي ضرورت آهي.
(2) رد عمل جي شين مان، سڀئي مادا گيسي حالت ۾ هجڻ گهرجن سواءِ گهربل جمع جي، جيڪا مضبوط حالت ۾ هجي.
(3) جمع ٿيل فلم جو بخارات جو دٻاءُ ايترو گهٽ هجڻ گهرجي ته اهو يقيني بڻائي سگهجي ته جمع ٿيل فلم مضبوطيءَ سان هڪ خاص جمع ٿيل درجه حرارت واري سبسٽريٽ سان ڳنڍيل هجي. جمع ٿيل درجه حرارت تي سبسٽريٽ مواد جو بخارات جو دٻاءُ پڻ ڪافي گهٽ هجڻ گهرجي.
جمع ٿيندڙ رد عملن کي هيٺين ٽن مکيه حالتن ۾ ورهايو ويو آهي.
(1) گيس واري حالت. ماخذ مواد جيڪي ڪمري جي حرارت تي گيس وارا هوندا آهن، جهڙوڪ ميٿين، ڪاربن ڊاءِ آڪسائيڊ، امونيا، ڪلورين، وغيره، جيڪي ڪيميائي بخارات جي جمع ٿيڻ لاءِ تمام گهڻا سازگار هوندا آهن، ۽ جن لاءِ وهڪري جي شرح کي آساني سان منظم ڪيو ويندو آهي.
(2) مائع. ڪجھ رد عمل ڪندڙ مادا جيڪي ڪمري جي حرارت تي يا ٿوري وڌيڪ گرمي پد تي، بخارات جو دٻاءُ وڌيڪ هوندو آهي، جهڙوڪ TiCI4، SiCl4، CH3SiCl3، وغيره، گئس (جهڙوڪ H2، N2، Ar) کي مائع جي مٿاڇري يا بلبل جي اندر مائع کي وهڻ لاءِ استعمال ڪري سگهجن ٿا، ۽ پوءِ مادي جي سير ٿيل بخارات کي اسٽوڊيو ۾ کڻي وڃن ٿا.
(3) ٺوس حالت. مناسب گيس يا مائع ذريعو جي غير موجودگي ۾، صرف ٺوس حالت واري فيڊ اسٽاڪ استعمال ڪري سگهجن ٿا. ڪجهه عنصرن يا انهن جي مرڪبن ۾ سوين درجن ۾ ڪافي بخارات جو دٻاءُ هوندو آهي، جهڙوڪ TaCl5، Nbcl5، ZrCl4، وغيره، فلم پرت ۾ جمع ٿيل ڪيريئر گيس استعمال ڪندي اسٽوڊيو ۾ کڻي وڃي سگهجن ٿا.
وڌيڪ عام صورتحال جو قسم هڪ خاص گئس ۽ ذريعو مواد گيس-ٺوس يا گيس-مائع رد عمل ذريعي، اسٽوڊيو پهچائڻ لاءِ مناسب گيس حصن جي ٺهڻ. مثال طور، HCl گئس ۽ ڌاتو Ga رد عمل ڪري گيس جزو GaCl ٺاهيندا آهن، جيڪو GaCl جي صورت ۾ اسٽوڊيو ڏانهن منتقل ڪيو ويندو آهي.

- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا