Вакуумная напылительная машина на насосной системе имеет следующие основные требования:
(1) Вакуумная система нанесения покрытия должна иметь достаточно большую скорость откачки, которая должна не только быстро откачивать газы, выделяющиеся из подложки и испаряемых материалов и компонентов в вакуумной камере во время процесса нанесения покрытия, но и иметь возможность быстро откачивать газы, выделяющиеся в процессе распыления и ионного покрытия, а также утечки газа из процесса распыления и ионного покрытия и системы.
Утечка газа во время распыления и ионного покрытия также может быть быстро извлечена. Для повышения производительности машины для нанесения покрытия она должна иметь возможность работать быстро.
(2) Предельный вакуум насосной системы машины для нанесения покрытия должен быть разным в зависимости от требований различных пленок. Таблица 7-9 представляет собой диапазон степени вакуума, требуемый для процесса нанесения покрытия на различные пленки.
(3) В масляном диффузионном насосе, как в системе откачки основного насоса, требуется, чтобы скорость возврата масла насоса была как можно меньше, поскольку пары возвратного масла загрязняют поверхность заготовки и ухудшают качество пленки. В процессе нанесения покрытия, когда требования к качеству пленки особенно высоки, лучше всего использовать систему откачки без масла. При использовании системы откачки масляного диффузионного насоса следует установить на входе насоса адсорбционную ловушку, холодную ловушку и другие компоненты, а также следует обратить внимание на проводимость компонентов, чтобы гарантировать, что вакуумная система поддерживает максимальную скорость откачки.
(4) Скорость утечки вакуумной камеры покрытия и ее насосной системы должна быть небольшой, т. е. даже если это будет следовая утечка газа, она повлияет на качество пленки. Поэтому, чтобы обеспечить герметичность системы, общая скорость утечки системы должна быть ограничена допустимым диапазоном.
(5) Эксплуатация, использование и обслуживание вакуумной системы должны быть удобными, стабильными и надежными.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 14 декабря 2023 г.