1. Хромовая мишень Хром как материал для напыляемой пленки не только легко сочетается с подложкой с высокой адгезией, но также хром и оксид для создания пленки CrO3, ее механические свойства, кислотостойкость, термическая стабильность лучше. Кроме того, хром в состоянии неполного окисления также может создавать слабую поглощающую пленку. Сообщалось, что хром с чистотой более 98% изготавливается в прямоугольные мишени или цилиндрические хромовые мишени. Кроме того, технология использования метода спекания для изготовления прямоугольной хромовой мишени также является зрелой.
2. Мишень ITO Подготовка материала мишени из пленки ITO, используемого в прошлом, обычно использовала материалы из сплава In-Sn для изготовления мишеней, а затем в процессе покрытия через кислород, а затем генерировала пленку ITO. Этот метод трудно контролировать реакционный газ и имеет плохую воспроизводимость. Таким образом, в последние годы был заменен мишенью спекания ITO. Типичный процесс материала мишени ITO в соответствии с соотношением качества, через метод шаровой мельницы будет полностью смешан, а затем добавлен специальный органический порошковый композитный агент, будет смешан в требуемую форму, и через прессование под давлением, а затем пластина на воздухе со скоростью нагрева 100 ℃ / ч до 1600 ℃ после выдержки 1 ч, а затем скорость охлаждения 100 ℃ / ч до комнатной температуры и сделано. Скорость охлаждения 100 ℃ / ч до комнатной температуры и сделано. При изготовлении мишеней плоскость мишени должна быть полированной, чтобы избежать горячих точек в процессе распыления.
3.Золото и золотой сплав мишени золото, блеск очаровательный, с хорошей коррозионной стойкостью, является идеальным декоративным поверхностным покрытием материалов. Метод мокрого покрытия, используемый в прошлом, адгезия пленки мала, низкая прочность, плохая стойкость к истиранию, а также проблемы загрязнения отработанной жидкостью, поэтому неизбежно заменяется сухим покрытием. Тип мишени имеет плоскую мишень, локальную составную мишень, трубчатую мишень, локальную составную трубчатую мишень и так далее. Его метод подготовки в основном через дозировку вакуумной плавки, травления, холодной прокатки, отжига, тонкой прокатки, резки, очистки поверхности, холодной прокатки композитного пакета и ряда процессов, таких как подготовка процесса. Эта технология прошла оценку в Китае, использование хороших результатов.
4. Мишень из магнитного материала Мишень из магнитного материала в основном используется для покрытия тонкопленочных магнитных головок, тонкопленочных дисков и других магнитных тонкопленочных устройств. Из-за использования метода магнетронного распыления постоянного тока для магнитных материалов магнетронное распыление является более сложным. Поэтому для подготовки таких мишеней используются мишени CT с так называемым «типом мишени с зазором». Принцип заключается в вырезании множества зазоров на поверхности материала мишени, чтобы магнитная система могла генерировать на поверхности магнитного материала мишени магнитное поле рассеяния, так что поверхность мишени могла формировать ортогональное магнитное поле и достигать цели магнетронного распыления пленки. Говорят, что толщина этого материала мишени может достигать 20 мм.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 24 января 2024 г.