Mașina de acoperire în vid pe sistemul de pompare are următoarele cerințe de bază:
(1) Sistemul de vid pentru acoperire ar trebui să aibă o rată de pompare suficient de mare, care nu numai că ar trebui să pompeze rapid gazele eliberate din substrat și materialele evaporate și componentele din camera de vid în timpul procesului de acoperire, dar ar trebui să fie capabilă și să pompeze rapid gazele eliberate din procesul de pulverizare catodică și acoperire cu ioni, precum și scurgerile de gaze din procesul de pulverizare catodică și acoperire cu ioni și din sistem.
Scurgerea de gaz în timpul procesului de pulverizare și acoperire ionică poate fi, de asemenea, extrasă rapid. Pentru a îmbunătăți productivitatea mașinii de acoperire, aceasta ar trebui să poată funcționa rapid.
(2) Vidul final al sistemului de pompare al mașinii de acoperire trebuie să fie diferit în funcție de cerințele diferitelor pelicule. Tabelul 7-9 prezintă intervalul gradului de vid necesar pentru procesul de acoperire a diferitelor pelicule.
(3) Într-o pompă de difuzie a uleiului, ca sistem principal de pompare, este necesar ca rata de retur a uleiului să fie cât mai mică posibil, deoarece vaporii de ulei returnați vor polua suprafața piesei de prelucrat și vor duce la scăderea calității peliculei. Deoarece cerințele de calitate a peliculei sunt deosebit de ridicate în procesul de acoperire, este recomandat să se utilizeze un sistem de pompare fără ulei. Atunci când se utilizează un sistem de pompare cu pompă de difuzie a uleiului, trebuie instalate la intrarea pompei o capcană de adsorbție, o capcană de frig și alte componente și trebuie acordată atenție conductivității componentelor pentru a se asigura că sistemul de vid menține viteza maximă de pompare.
(4) Rata de scurgere a camerei de acoperire în vid și a sistemului de pompare al acesteia trebuie să fie mică, adică, chiar dacă este vorba de o scurgere de gaze în urmă, aceasta va afecta calitatea peliculei. Prin urmare, pentru a asigura performanța de etanșare a sistemului, rata totală de scurgere a sistemului trebuie limitată la intervalul admis.
(5) Funcționarea, utilizarea și întreținerea sistemului de vid trebuie să fie convenabile, stabile și cu performanțe fiabile.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 14 decembrie 2023