1. Țintă de crom Cromul, ca material pentru pelicule de pulverizare, nu este doar ușor de combinat cu substratul cu aderență ridicată, ci și cu cromul și oxidul pentru a genera o peliculă de CrO3, proprietățile sale mecanice, rezistența la acizi și stabilitatea termică fiind mai bune. În plus, cromul în stare de oxidare incompletă poate genera, de asemenea, o peliculă de absorbție slabă. S-a raportat că cromul cu o puritate mai mare de 98% este utilizat în ținte dreptunghiulare sau cilindrice de crom. În plus, tehnologia de utilizare a metodei de sinterizare pentru a realiza ținte dreptunghiulare de crom este, de asemenea, matură.
2. Prepararea țintei ITO pentru pelicula de ITO În trecut, materialul țintă folosit pentru prepararea țintelor se folosea de obicei materiale din aliaj In-Sn, apoi se acoperia cu oxigen pentru a genera pelicula de ITO. Această metodă are o rezistență dificilă la controlul gazului de reacție și o reproductibilitate slabă. Prin urmare, în ultimii ani, sinterizarea țintei ITO a fost înlocuită. Procesul tipic de fabricare a materialului țintă ITO se bazează pe un raport de calitate: se amestecă complet prin metoda măcinării cu bile, apoi se adaugă un agent compozit special de pulbere organică, se amestecă în forma dorită și se compactează sub presiune. Placa se încălzește în aer la o viteză de 100 ℃/h până la 1600 ℃ timp de 1 oră, apoi se răcește cu o viteză de 100 ℃/h până la temperatura camerei. Se răcește cu o viteză de 100 ℃/h până la temperatura camerei și se realizează. La fabricarea țintelor, planul țintei trebuie lustruit pentru a evita punctele fierbinți în procesul de pulverizare catodică.
3. Ținta din aur și aliaje de aur, cu luciu fermecător și rezistență bună la coroziune, este materialul ideal pentru acoperirea decorativă a suprafețelor. Metoda de placare umedă utilizată în trecut are o aderență mică a peliculei, o rezistență scăzută la abraziune și probleme de poluare cu lichide reziduale, prin urmare, este inevitabil înlocuită de placarea uscată. Tipurile de țintă includ ținte plane, ținte compozite locale, ținte tubulare, ținte tubulare compozite locale și așa mai departe. Metoda sa de preparare se realizează în principal prin topire în vid, decapare, laminare la rece, recoacere, laminare fină, forfecare, curățare a suprafeței, laminare la rece a ambalajelor compozite și o serie de procese, cum ar fi procesul de preparare. Această tehnologie a trecut evaluările în China, obținând rezultate bune.
4. Țintă magnetică Materialul magnetic este utilizat în principal pentru placarea capetelor magnetice cu peliculă subțire, a discurilor cu peliculă subțire și a altor dispozitive magnetice cu peliculă subțire. Datorită utilizării metodei de pulverizare magnetronică DC pentru materiale magnetice, pulverizarea magnetronică este mai dificilă. Prin urmare, pentru prepararea unor astfel de ținte se utilizează ținte CT cu așa-numitul „tip țintă cu gol”. Principiul este de a decupa mai multe goluri pe suprafața materialului țintă, astfel încât sistemul magnetic să poată genera un câmp magnetic de scurgere pe suprafața materialului țintă, astfel încât suprafața țintei să poată forma un câmp magnetic ortogonal și să atingă scopul peliculei de pulverizare magnetronică. Se spune că grosimea acestui material țintă poate ajunge la 20 mm.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 24 ian. 2024