A máquina de revestimento a vácuo no sistema de bombeamento tem os seguintes requisitos básicos:
(1) O sistema de vácuo de revestimento deve ter uma taxa de bombeamento suficientemente grande, que não só deve bombear rapidamente os gases liberados do substrato e dos materiais evaporados e dos componentes na câmara de vácuo durante o processo de revestimento, mas também ser capaz de bombear rapidamente os gases liberados do processo de pulverização catódica e revestimento iônico, bem como o vazamento de gás do processo de pulverização catódica e revestimento iônico e do sistema.
O vazamento de gás durante os processos de pulverização catódica e revestimento iônico também pode ser rapidamente eliminado. Para aumentar a produtividade da máquina de revestimento, ela deve ser capaz de operar rapidamente.
(2) O vácuo final do sistema de bombeamento da máquina de revestimento deve ser diferente de acordo com os requisitos dos diferentes filmes. A Tabela 7-9 apresenta a faixa de graus de vácuo exigida pelo processo de revestimento de diferentes filmes.
(3) Na bomba de difusão de óleo, como sistema de bombeamento da bomba principal, a taxa de retorno de óleo da bomba é a menor possível, pois o vapor de óleo retornado poluirá a superfície da peça de trabalho e causará a degradação da qualidade do filme. Quando os requisitos de qualidade do filme são particularmente altos no processo de revestimento, é melhor utilizar um sistema de bombeamento isento de óleo. Ao utilizar o sistema de bombeamento da bomba de difusão de óleo, deve-se instalar a armadilha de adsorção, a armadilha de frio e outros componentes na entrada da bomba, e deve-se prestar atenção à condutividade dos componentes para garantir que o sistema de vácuo mantenha a velocidade máxima de bombeamento.
(4) A taxa de vazamento da câmara de revestimento a vácuo e seu sistema de bombeamento devem ser pequenos, ou seja, mesmo que haja um vazamento de gás traço, a qualidade do filme será afetada. Portanto, para garantir o desempenho de vedação do sistema, a taxa total de vazamento do sistema deve ser limitada à faixa permitida.
(5) A operação, o uso e a manutenção do sistema de vácuo devem ser convenientes, estáveis e confiáveis.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Data de publicação: 14 de dezembro de 2023