د CVD ټیکنالوژي د کیمیاوي تعامل پر بنسټ ولاړه ده. هغه تعامل چې پکې تعامل کوونکي په ګازي حالت کې وي او یو محصول په جامد حالت کې وي معمولا د CVD تعامل په نوم یادیږي، له همدې امله د دې کیمیاوي تعامل سیسټم باید لاندې درې شرایط پوره کړي.
(۱) د جمع کولو په تودوخه کې، تعامل کوونکي باید په کافي اندازه لوړ بخار فشار ولري. که چیرې تعامل کوونکي ټول د خونې په تودوخه کې ګاز لرونکي وي، د جمع کولو وسیله نسبتا ساده ده، که چیرې تعامل کوونکي د خونې په تودوخه کې بې ثباته وي نو خورا کوچنۍ ده، نو دا باید تودوخه شي ترڅو دا بې ثباته شي، او ځینې وختونه د کیریر ګاز کارولو ته اړتیا وي ترڅو دا د عکس العمل خونې ته راوړي.
(۲) د تعامل محصولاتو څخه، ټول مواد باید په ګازي حالت کې وي پرته له هغه مطلوب زیرمې څخه چې په جامد حالت کې وي.
(۳) د زیرمه شوي فلم د بخار فشار باید دومره ټیټ وي چې ډاډ ترلاسه شي چې زیرمه شوی فلم د زیرمه شوي تعامل په جریان کې د یو ټاکلي زیرمه شوي تودوخې سره په کلکه وصل دی. د زیرمه شوي تودوخې په جریان کې د سبسټریټ موادو د بخار فشار هم باید کافي ټیټ وي.
د جمع کولو تعامل کوونکي په لاندې دریو اصلي حالتونو ویشل شوي دي.
(۱) ګازي حالت. هغه سرچینې مواد چې د خونې په تودوخه کې ګاز لرونکي وي، لکه میتان، کاربن ډای اکسایډ، امونیا، کلورین، او نور، کوم چې د کیمیاوي بخاراتو د زیرمو لپاره خورا مناسب دي، او د دې لپاره د جریان کچه په اسانۍ سره تنظیم کیږي.
(۲) مایع. ځینې تعاملي مواد چې د خونې په تودوخه یا یو څه لوړ حرارت کې وي، د بخار لوړ فشار شتون لري، لکه TiCI4، SiCl4، CH3SiCl3، او نور، د مایع سطحې یا د بلبل دننه مایع د ګاز (لکه H2، N2، Ar) جریان لیږدولو لپاره کارول کیدی شي، او بیا د موادو سنتر شوي بخارات سټوډیو ته لیږدوي.
(۳) جامد حالت. د مناسب ګاز یا مایع سرچینې په نشتوالي کې، یوازې جامد حالت لرونکي فیډ سټاک کارول کیدی شي. ځینې عناصر یا د دوی مرکبات په سلګونو درجو کې د پام وړ بخار فشار لري، لکه TaCl5، Nbcl5، ZrCl4، او نور، د فلم طبقې ته د زیرمه شوي کیریر ګاز په کارولو سره سټوډیو ته لیږدول کیدی شي.
د یو ځانګړي ګاز او سرچینې موادو ګاز-جامد یا ګاز-مایع تعامل له لارې ډیر عام وضعیت ډول، د سټوډیو رسولو لپاره د مناسب ګازي اجزاو جوړښت. د مثال په توګه، د HCl ګاز او فلز Ga تعامل کوي ترڅو د ګازي برخې GaCl جوړ کړي، کوم چې د GaCl په بڼه سټوډیو ته لیږدول کیږي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: نومبر-۱۶-۲۰۲۳