Wymagania dotyczące maszyny do powlekania próżniowego w systemie pompowania

Podstawowe wymagania dotyczące maszyny do powlekania próżniowego w układzie pompowym są następujące:

(1) Układ próżniowego powlekania powinien mieć wystarczająco dużą wydajność pompowania, która nie tylko powinna szybko wypompowywać gazy uwalniane z podłoża i odparowanych materiałów oraz składników w komorze próżniowej podczas procesu powlekania, ale także powinna być w stanie szybko wypompować gazy uwalniane z procesu rozpylania i powlekania jonowego, a także wyciek gazu z procesu rozpylania i powlekania jonowego oraz układu.

Wyciek gazu podczas rozpylania i procesu powlekania jonowego można również szybko usunąć. Aby zwiększyć wydajność maszyny do powlekania, powinna ona być w stanie działać szybko.

(2) Ostateczna próżnia układu pompującego maszyny do powlekania powinna być różna w zależności od wymagań różnych folii. Tabela 7-9 przedstawia zakres stopnia próżni wymagany w procesie powlekania różnych folii.

(3) W pompie dyfuzyjnej oleju jako głównym systemie pompowania pompy wymagana jest możliwie najmniejsza szybkość powrotu oleju przez pompę, ponieważ powracające opary oleju zanieczyszczą powierzchnię przedmiotu obrabianego i spowodują spadek jakości filmu. W przypadku wymagań jakościowych filmu w procesie powlekania, najlepiej jest użyć systemu pompowania bezolejowego. Podczas korzystania z systemu pompowania pompy dyfuzyjnej oleju, należy ustawić pułapkę adsorpcyjną na wlocie pompy, pułapkę zimna i inne elementy, a także zwrócić uwagę na przewodnictwo elementów, aby zapewnić, że system próżniowy utrzymuje maksymalną prędkość pompowania.

(4) Szybkość wycieku komory próżniowej i jej układu pompowego powinna być niewielka, tzn. nawet jeśli jest to śladowy wyciek gazu, wpłynie to na jakość folii. Dlatego też, aby zapewnić wydajność uszczelniania układu, całkowita szybkość wycieku układu musi być ograniczona do dopuszczalnego zakresu.

(5) Obsługa, użytkowanie i konserwacja układu próżniowego powinny być wygodne, stabilne i niezawodne.

– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua