ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣରେ ମୁଖ୍ୟତଃ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପ ଜମା, ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ଏବଂ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଏଗୁଡ଼ିକ ସବୁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଅବସ୍ଥାରେ ପାତନ କିମ୍ବା ସ୍ପଟରିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ପୃଷ୍ଠରେ ବିଭିନ୍ନ ଧାତୁ ଏବଂ ଅଣ-ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବାକୁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା ଦ୍ରୁତ ଆବଦ୍ଧତାର ଏକ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ସୁବିଧା ସହିତ ଏକ ବହୁତ ପତଳା ପୃଷ୍ଠ ଆବରଣ ପାଇପାରିବ, କିନ୍ତୁ ମୂଲ୍ୟ ମଧ୍ୟ ଅଧିକ, ଏବଂ ପରିଚାଳିତ ହୋଇପାରିବ ଏପରି ଧାତୁର ପ୍ରକାର କମ୍, ଏବଂ ସାଧାରଣତଃ ଉଚ୍ଚ-ଗ୍ରେଡ୍ ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଆବରଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପ ନିକ୍ଷେପ ହେଉଛି ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ତଳେ ଧାତୁକୁ ଗରମ କରିବାର ଏକ ପଦ୍ଧତି, ଯାହା ଏହାକୁ ତରଳିଯାଏ, ବାଷ୍ପୀଭୂତ ହୁଏ ଏବଂ ଥଣ୍ଡା ହେବା ପରେ ନମୁନାର ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ପତଳା ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରେ, ଯାହାର ଘନତା 0.8-1.2 um ହୋଇଥାଏ। ଏହା ଏକ ଦର୍ପଣ ପରି ପୃଷ୍ଠ ପାଇବା ପାଇଁ ଗଠିତ ଉତ୍ପାଦର ପୃଷ୍ଠରେ ଥିବା ଛୋଟ ଅବତଳ ଏବଂ ଉତ୍ତଳ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକୁ ପୂରଣ କରେ। ଯେତେବେଳେ ପ୍ରତିଫଳିତ ଦର୍ପଣ ପ୍ରଭାବ ପାଇବା ପାଇଁ କିମ୍ବା କମ୍ ଆସନ ସହିତ ଏକ ଇସ୍ପାତକୁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ କରିବା ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପ ନିକ୍ଷେପ କରାଯାଏ, ତଳ ପୃଷ୍ଠକୁ ଆବୃତ କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ।
ସ୍ପଟରିଂ ସାଧାରଣତଃ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂକୁ ବୁଝାଏ, ଯାହା ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଗତିର ନିମ୍ନ-ତାପମାନ ସ୍ପଟରିଂ ପଦ୍ଧତି। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ପ୍ରାୟ 1×10-3Torr ର ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଆବଶ୍ୟକ, ଅର୍ଥାତ୍ 1.3×10-3Pa ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଅବସ୍ଥା ଯାହା ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ ଆର୍ଗନ୍ (Ar) ରେ ପରିପୂର୍ଣ୍ଣ, ଏବଂ ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (ଆନୋଡ୍) ଏବଂ ଧାତୁ ଲକ୍ଷ୍ୟ (କ୍ୟାଥୋଡ୍) ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଭୋଲଟେଜ୍ ପ୍ରତ୍ୟକ୍ଷ କରେଣ୍ଟ ମଧ୍ୟରେ, ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ଉତ୍ତେଜନା ଯୋଗୁଁ, ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉତ୍ପାଦନ କରେ, ପ୍ଲାଜ୍ମା ଧାତୁ ଲକ୍ଷ୍ୟର ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରିବ ଏବଂ ସେଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା କରିବ। ଅଧିକାଂଶ ସାଧାରଣ ଧାତୁ ଆବରଣ DC ସ୍ପଟରିଂ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯେତେବେଳେ ଅଣ-ପରିବାହୀ ସିରାମିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ RF AC ସ୍ପଟରିଂ ବ୍ୟବହାର କରେ।
ଆୟନ ଆବରଣ ଏକ ପଦ୍ଧତି ଯେଉଁଥିରେ ଗ୍ୟାସ ନିର୍ଗମନକୁ ଶୂନ୍ୟ ଅବସ୍ଥାରେ ଗ୍ୟାସ କିମ୍ବା ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପଦାର୍ଥକୁ ଆଂଶିକ ଭାବରେ ଆୟନୀକରଣ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପଦାର୍ଥ କିମ୍ବା ଏହାର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକାରୀଗୁଡ଼ିକୁ ଗ୍ୟାସ ଆୟନ କିମ୍ବା ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପଦାର୍ଥର ଆୟନଗୁଡ଼ିକୁ ବୋମା ମାଡ଼ କରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା କରାଯାଏ। ଏଥିରେ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆୟନ ଆବରଣ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଆୟନ ଆବରଣ, ଖୋଳା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଡିସଚାର୍ଜ ଆୟନ ଆବରଣ (ହୋଲୋ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ବାଷ୍ପ ଜମା ପଦ୍ଧତି), ଏବଂ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ ଆୟନ ଆବରଣ (କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ୍ ଆୟନ ଆବରଣ) ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ରେଖାରେ ନିରନ୍ତର ଆବରଣ ସହିତ ଭୂଲମ୍ବ ଦୁଇ-ପାର୍ଶ୍ୱ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ
ବିସ୍ତୃତ ପ୍ରଯୁଜ୍ୟତା, ନୋଟବୁକ୍ ସେଲ୍ EMI ସିଲ୍ଡିଂ ସ୍ତର, ଫ୍ଲାଟ୍ ଉତ୍ପାଦ ଏବଂ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚତା ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ମଧ୍ୟରେ ଥିବା ସମସ୍ତ ଲ୍ୟାମ୍ପ କପ୍ ଉତ୍ପାଦ ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ। ବଡ଼ ଲୋଡିଂ କ୍ଷମତା, କମ୍ପାକ୍ଟ କ୍ଲାମ୍ପିଂ ଏବଂ ଡବଲ୍-ପାର୍ଶ୍ଵ ଆବରଣ ପାଇଁ କୋନିକାଲ୍ ଲାଇଟ୍ କପ୍ ର ଷ୍ଟାଗର୍ଡ କ୍ଲାମ୍ପିଂ, ଯାହାର ଅଧିକ ଲୋଡିଂ କ୍ଷମତା ହୋଇପାରେ। ସ୍ଥିର ଗୁଣବତ୍ତା, ବ୍ୟାଚ୍ ରୁ ବ୍ୟାଚ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଭଲ ସ୍ଥିରତା। ଉଚ୍ଚ ଡିଗ୍ରୀ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତତା ଏବଂ କମ ଚାଲୁଥିବା ଶ୍ରମ ମୂଲ୍ୟ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜାନୁଆରୀ-୨୩-୨୦୨୫