Vakuumbeleggsmaskinen på pumpesystemet har følgende grunnleggende krav:
(1) Belegningsvakuumsystemet bør ha en tilstrekkelig stor pumpehastighet, som ikke bare raskt skal pumpe ut gassene som frigjøres fra substratet og fordampede materialer og komponentene i vakuumkammeret under belegningsprosessen, men også raskt være i stand til å pumpe ut gassene som frigjøres fra sputtering- og ionbelegningsprosessen, samt gasslekkasje fra sputtering- og ionbelegningsprosessen og systemet.
Gasslekkasjen under sputtering og ionbeleggingsprosessen kan også fjernes raskt. For å forbedre produktiviteten til beleggingsmaskinen bør den kunne operere raskt.
(2) Det ultimate vakuumet i belegningsmaskinens pumpesystem bør variere i henhold til kravene til forskjellige filmer. Tabell 7-9 viser området for vakuumgrad som kreves av belegningsprosessen for forskjellige filmer.
(3) I oljediffusjonspumpen som hovedpumpesystem krever pumpens oljereturhastighet så lav som mulig, fordi returoljedampen vil forurense overflaten av arbeidsstykket og føre til at filmens kvalitet synker. I belegningsprosessen er det spesielt høye krav til filmkvalitet, så det er best å bruke et oljefritt pumpesystem. Når oljediffusjonspumpen brukes, bør adsorpsjonsfellen, kuldefellen og andre komponenter i pumpens innløp plasseres, og det bør tas hensyn til komponentenes konduktivitet for å sikre at vakuumsystemet opprettholder maksimal pumpehastighet.
(4) Lekkasjeraten i vakuumbeleggkammeret og pumpesystemet bør være liten, dvs. selv om det er en sporgasslekkasje, vil det påvirke filmens kvalitet. For å sikre systemets tetningsevne må derfor systemets totale lekkasjeraten begrenses til det tillatte området.
(5) Drift, bruk og vedlikehold av vakuumsystemet skal være praktisk, stabil og ha pålitelig ytelse.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 14. desember 2023