De vacuümcoatingmachine op het pompsysteem heeft de volgende basisvereisten:
(1) Het coatingvacuümsysteem moet een voldoende grote pompcapaciteit hebben, die niet alleen de gassen die tijdens het coatingproces uit het substraat en de verdampt materialen en de componenten in de vacuümkamer vrijkomen, snel moet kunnen wegpompen, maar ook de gassen die vrijkomen bij het sputter- en ionencoatingproces snel moet kunnen wegpompen, evenals de gaslekkage van het sputter- en ionencoatingproces en het systeem.
Gaslekkage tijdens het sputteren en ioncoaten kan ook snel worden verholpen. Om de productiviteit van de coatingmachine te verbeteren, moet deze snel kunnen werken.
(2) Het uiteindelijke vacuüm van het pompsysteem van de coatingmachine moet verschillen, afhankelijk van de vereisten van verschillende films. Tabel 7-9 geeft het vacuümbereik weer dat vereist is voor het coatingproces van verschillende films.
(3) De oliediffusiepomp is het hoofdpompsysteem en vereist een zo klein mogelijke olieretoursnelheid, omdat de retouroliedamp het oppervlak van het werkstuk verontreinigt en de kwaliteit van de film vermindert. Aangezien de eisen aan de filmkwaliteit bijzonder hoog zijn in het coatingproces, is het het beste om een olievrij pompsysteem te gebruiken. Bij gebruik van een oliediffusiepomp moeten de adsorptieval, de koude val en andere componenten in de pompinlaat worden ingesteld, en moet er aandacht worden besteed aan de geleidbaarheid van de componenten om ervoor te zorgen dat het vacuümsysteem de maximale pompsnelheid behoudt.
(4) De lekkage van de vacuümcoatingkamer en het bijbehorende pompsysteem moet klein zijn, d.w.z. zelfs een spoorgaslekkage zal de kwaliteit van de film beïnvloeden. Om de afdichtingsprestaties van het systeem te garanderen, moet de totale lekkage van het systeem daarom beperkt blijven tot het toegestane bereik.
(5) De bediening, het gebruik en het onderhoud van het vacuümsysteem moeten comfortabel, stabiel en betrouwbaar zijn.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 14-12-2023