CVD प्रविधि रासायनिक प्रतिक्रियामा आधारित छ। प्रतिक्रियाकर्ताहरू ग्यासीय अवस्थामा र कुनै एक उत्पादन ठोस अवस्थामा हुने प्रतिक्रियालाई सामान्यतया CVD प्रतिक्रिया भनिन्छ, त्यसैले यसको रासायनिक प्रतिक्रिया प्रणालीले निम्न तीन सर्तहरू पूरा गर्नुपर्छ।
(१) निक्षेपण तापक्रममा, अभिकर्ताहरूको पर्याप्त उच्च वाष्प चाप हुनुपर्छ। यदि अभिकर्ताहरू कोठाको तापक्रममा सबै ग्यासयुक्त छन् भने, निक्षेपण उपकरण अपेक्षाकृत सरल छ, यदि अभिकर्ताहरू कोठाको तापक्रममा अस्थिर छन् भने धेरै सानो छ भने, यसलाई अस्थिर बनाउन तताउनु पर्छ, र कहिलेकाहीँ यसलाई प्रतिक्रिया कक्षमा ल्याउन वाहक ग्यास प्रयोग गर्न आवश्यक पर्दछ।
(२) प्रतिक्रिया उत्पादनहरू मध्ये, सबै पदार्थहरू ग्यासीय अवस्थामा हुनुपर्छ, चाहेको निक्षेप बाहेक, जुन ठोस अवस्थामा हुन्छ।
(३) निक्षेपित फिल्मको वाष्प चाप निक्षेपण प्रतिक्रियाको समयमा निश्चित निक्षेपण तापक्रम भएको सब्सट्रेटमा दृढतापूर्वक जोडिएको सुनिश्चित गर्न पर्याप्त कम हुनुपर्छ। निक्षेपण तापक्रममा सब्सट्रेट सामग्रीको वाष्प चाप पनि पर्याप्त कम हुनुपर्छ।
निक्षेपण अभिकर्ताहरूलाई निम्न तीन मुख्य अवस्थाहरूमा विभाजन गरिएको छ।
(१) ग्यासीय अवस्था। कोठाको तापक्रममा ग्यासयुक्त स्रोत सामग्रीहरू, जस्तै मिथेन, कार्बन डाइअक्साइड, अमोनिया, क्लोरिन, आदि, जुन रासायनिक वाष्प निक्षेपणको लागि सबैभन्दा अनुकूल हुन्छन्, र जसको लागि प्रवाह दर सजिलैसँग नियमन गरिन्छ।
(२) तरल पदार्थ। कोठाको तापक्रममा वा थोरै बढी तापक्रममा, उच्च वाष्प चाप भएका केही प्रतिक्रियात्मक पदार्थहरू, जस्तै TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, आदि, तरल पदार्थको सतह वा बबल भित्रको तरल पदार्थबाट ग्यास (जस्तै H2, N2, Ar) प्रवाह गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ, र त्यसपछि पदार्थको संतृप्त वाष्पहरूलाई स्टुडियोमा लैजान सकिन्छ।
(३) ठोस अवस्था। उपयुक्त ग्यास वा तरल स्रोतको अभावमा, ठोस-अवस्थाका फिडस्टकहरू मात्र प्रयोग गर्न सकिन्छ। केही तत्वहरू वा सयौं डिग्रीमा तिनीहरूका यौगिकहरूमा उल्लेखनीय वाष्प चाप हुन्छ, जस्तै TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, आदि, फिल्म तहमा जम्मा गरिएको वाहक ग्यास प्रयोग गरेर स्टुडियोमा लैजान सकिन्छ।
एक निश्चित ग्यास र स्रोत सामग्री ग्यास-ठोस वा ग्यास-तरल प्रतिक्रिया मार्फत सामान्य परिस्थिति प्रकार, स्टुडियो डेलिभरीको लागि उपयुक्त ग्यासीय घटकहरूको गठन। उदाहरणका लागि, HCl ग्यास र धातु Ga ले ग्यासीय घटक GaCl बनाउन प्रतिक्रिया गर्छन्, जुन GaCl को रूपमा स्टुडियोमा ढुवानी गरिन्छ।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: नोभेम्बर-१६-२०२३