Magna tal-kisi bil-vakwu fuq is-sistema tal-ippumpjar għandha r-rekwiżiti bażiċi li ġejjin:
(1) Is-sistema tal-vakwu tal-kisi għandu jkollha rata ta' ppumpjar kbira biżżejjed, li mhux biss għandha tippompja malajr il-gassijiet rilaxxati mis-sottostrat u l-materjali evaporati u l-komponenti fil-kamra tal-vakwu matul il-proċess tal-kisi, iżda wkoll tkun kapaċi tippompja malajr il-gassijiet rilaxxati mill-proċess tal-isputtering u l-kisi tal-joni, kif ukoll it-tnixxija tal-gass tal-proċess tal-isputtering u l-kisi tal-joni u s-sistema.
It-tnixxija tal-gass waqt il-proċess tal-isputtering u l-kisi tal-jone tista' wkoll tiġi estratta malajr. Sabiex tittejjeb il-produttività tal-magna tal-kisi, din għandha tkun kapaċi topera malajr.
(2) Il-vakwu aħħari tas-sistema tal-ippumpjar tal-magna tal-kisi għandu jkun differenti skont ir-rekwiżiti ta' films differenti. It-Tabella 7-9 turi l-firxa tal-grad tal-vakwu meħtieġ mill-proċess tal-kisi ta' films differenti.
(3) Fil-pompa tad-diffużjoni taż-żejt bħala s-sistema ewlenija tal-ippumpjar tal-pompa, ir-rata tar-ritorn taż-żejt tal-pompa hija żgħira kemm jista' jkun, minħabba li l-fwar taż-żejt tar-ritorn se jniġġes il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol u jikkawża li l-kwalità tal-film tonqos. Fil-proċess tal-kisi, ir-rekwiżiti tal-kwalità tal-film huma partikolarment għoljin, huwa aħjar li tuża sistema ta' ippumpjar mingħajr żejt. Meta tuża sistema ta' ippumpjar tal-pompa tad-diffużjoni taż-żejt, għandha tiġi ssettjata nassa ta' adsorbiment fid-daħla tal-pompa, nassa kiesħa u komponenti oħra, u għandha tingħata attenzjoni għall-konduttività tal-komponenti biex tiżgura li s-sistema tal-vakwu żżomm il-veloċità massima tal-ippumpjar.
(4) Ir-rata ta' tnixxija tal-kompartiment tal-kisi bil-vakwu u s-sistema tal-ippumpjar tagħha għandha tkun żgħira, jiġifieri, anke jekk tkun tnixxija ta' traċċa ta' gass, din taffettwa l-kwalità tal-film. Għalhekk, sabiex tiġi żgurata l-prestazzjoni tas-siġillar tas-sistema, ir-rata totali ta' tnixxija tas-sistema għandha tkun limitata għall-medda permessa.
(5) It-tħaddim, l-użu u l-manutenzjoni tas-sistema tal-vakwu għandhom ikunu konvenjenti, stabbli u b'rendiment affidabbli.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 14 ta' Diċembru 2023