Mesin salutan vakum pada sistem pengepaman mempunyai keperluan asas berikut:
(1) Sistem vakum salutan harus mempunyai kadar pengepaman yang cukup besar, yang bukan sahaja perlu mengepam keluar dengan cepat gas yang dikeluarkan daripada substrat dan bahan tersejat dan komponen dalam ruang vakum semasa proses salutan, tetapi juga dapat mengepam keluar dengan cepat gas yang dikeluarkan daripada proses salutan sputtering dan ion, serta kebocoran gas dan sistem salutan ion.
Kebocoran gas semasa proses sputtering dan salutan ion juga boleh diekstrak dengan cepat. Untuk meningkatkan produktiviti mesin salutan, ia sepatutnya dapat beroperasi dengan cepat.
(2) Vakum muktamad sistem pengepaman mesin salutan hendaklah berbeza mengikut keperluan filem yang berbeza. Jadual 7-9 ialah julat darjah vakum yang diperlukan oleh proses salutan filem yang berbeza.
(3) Dalam pam resapan minyak kerana sistem pengepaman pam utama memerlukan kadar pulangan minyak pam adalah sekecil mungkin, kerana wap minyak kembali akan mencemarkan permukaan bahan kerja dan menyebabkan kualiti filem merosot. Dalam keperluan kualiti filem adalah sangat tinggi dalam proses salutan, ia adalah yang terbaik untuk menggunakan sistem pam bebas minyak. Apabila menggunakan sistem pam resapan minyak pam, perlu ditetapkan dalam pam masuk perangkap penjerapan, perangkap sejuk dan komponen lain, dan harus memberi perhatian kepada kekonduksian komponen untuk memastikan bahawa sistem vakum untuk mengekalkan kelajuan mengepam maksimum.
(4) Kadar kebocoran ruang salutan vakum dan sistem pengepamannya hendaklah kecil, iaitu, walaupun ia adalah kebocoran gas surih, ia akan menjejaskan kualiti filem. Oleh itu, untuk memastikan prestasi pengedap sistem, jumlah kadar kebocoran sistem mesti dihadkan kepada julat yang dibenarkan.
(5) Operasi sistem vakum, penggunaan dan penyelenggaraan hendaklah mudah, prestasi yang stabil dan boleh dipercayai.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Dis-14-2023