Mesin pemendapan sputter, juga dikenali sebagai sistem sputtering, adalah peralatan yang sangat khusus digunakan dalam proses pemendapan filem nipis. Ia berfungsi berdasarkan prinsip sputtering, yang melibatkan pengeboman bahan sasaran dengan ion atau atom bertenaga tinggi. Proses ini mengeluarkan aliran atom daripada bahan sasaran, yang kemudiannya didepositkan ke substrat untuk membentuk filem nipis.
Penggunaan mesin pemendapan sputter telah berkembang dengan pesat kerana keupayaannya untuk menghasilkan filem dengan ketulenan tinggi, keseragaman yang sangat baik dan ketebalan terkawal. Filem sedemikian mempunyai aplikasi yang luas dalam mikroelektronik, optik, sel suria, media storan magnetik dan bidang lain.
Perkembangan terkini dalam bidang mesin pemendapan sputter telah menghasilkan fungsi yang dipertingkatkan dan ciri yang dipertingkatkan. Kemajuan yang ketara ialah penggabungan teknologi magnetron sputtering, yang membolehkan kadar pemendapan yang lebih tinggi dan kualiti filem yang lebih baik. Inovasi ini membolehkan pemendapan pelbagai bahan, termasuk logam, oksida logam dan semikonduktor.
Selain itu, mesin pemendapan sputter kini dilengkapi dengan sistem kawalan lanjutan yang memastikan kawalan tepat parameter pemendapan seperti tekanan gas, ketumpatan kuasa, komposisi sasaran dan suhu substrat. Kemajuan ini meningkatkan prestasi filem dan membolehkan pengeluaran filem dengan sifat yang disesuaikan dengan aplikasi tertentu.
Selain itu, pembangunan berterusan dalam bidang nanoteknologi juga banyak mendapat manfaat daripada mesin pemendapan sputter. Penyelidik menggunakan mesin ini untuk mencipta struktur nano dan salutan struktur nano dengan ketepatan yang sangat tinggi. Mesin pemendapan sputter mampu mendepositkan filem nipis pada bentuk yang kompleks dan kawasan yang besar, menjadikannya sesuai untuk pelbagai aplikasi skala nano.
Baru-baru ini dilaporkan bahawa satu pasukan saintis dari institusi penyelidikan terkenal telah berjaya membangunkan mesin pemendapan sputter baharu yang boleh mendepositkan filem nipis dengan ketepatan yang tidak pernah berlaku sebelum ini. Mesin canggih ini menyepadukan algoritma kawalan terkini dan reka bentuk magnetron baru untuk mencapai keseragaman filem dan kawalan ketebalan yang unggul. Pasukan penyelidik membayangkan mesinnya akan merevolusikan proses pembuatan peranti elektronik generasi akan datang dan sistem storan tenaga.
Membangunkan bahan baharu dengan fungsi yang dipertingkatkan adalah usaha berterusan komuniti saintifik. Mesin pemendapan sputter telah menjadi alat yang sangat diperlukan dalam penerokaan ini, memudahkan penemuan dan sintesis bahan baharu dengan sifat unik. Penyelidik menggunakan mesin ini untuk mengkaji mekanisme pertumbuhan filem, mengkaji bahan dengan sifat yang disesuaikan, dan menemui bahan baharu yang boleh membentuk masa depan teknologi.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 30-Okt-2023
