CVD तंत्रज्ञान रासायनिक अभिक्रियेवर आधारित आहे. ज्या अभिक्रियेत अभिक्रियाक वायू अवस्थेत असतात आणि एक उत्पादन घन अवस्थेत असते त्याला सामान्यतः CVD अभिक्रिया म्हणतात, म्हणून त्याच्या रासायनिक अभिक्रिया प्रणालीने खालील तीन अटी पूर्ण केल्या पाहिजेत.
(१) निक्षेपण तापमानावर, अभिक्रियाकांचा वाष्प दाब पुरेसा जास्त असणे आवश्यक आहे. जर अभिक्रियाक खोलीच्या तपमानावर वायूयुक्त असतील, तर निक्षेपण यंत्र तुलनेने सोपे असते, जर अभिक्रियाक खोलीच्या तपमानावर अस्थिर असतील तर ते खूप लहान असते, ते अस्थिर करण्यासाठी ते गरम करणे आवश्यक असते आणि कधीकधी ते अभिक्रिया कक्षात आणण्यासाठी वाहक वायू वापरण्याची आवश्यकता असते.
(२) अभिक्रिया उत्पादनांपैकी, इच्छित निक्षेप वगळता, सर्व पदार्थ वायू अवस्थेत असले पाहिजेत, जे घन अवस्थेत आहे.
(३) जमा केलेल्या फिल्मचा बाष्प दाब इतका कमी असावा की तो जमा केलेल्या फिल्म एका विशिष्ट जमा तापमान असलेल्या सब्सट्रेटशी घट्टपणे जोडलेला असेल याची खात्री करण्यासाठी. जमा केलेल्या तापमानावर सब्सट्रेट मटेरियलचा बाष्प दाब देखील पुरेसा कमी असावा.
निक्षेपण अभिक्रियाक खालील तीन मुख्य अवस्थांमध्ये विभागले गेले आहेत.
(१) वायूमय अवस्था. खोलीच्या तपमानावर वायूयुक्त असलेले स्रोत पदार्थ, जसे की मिथेन, कार्बन डायऑक्साइड, अमोनिया, क्लोरीन, इ., जे रासायनिक बाष्प संचयनासाठी सर्वात अनुकूल असतात आणि ज्यांचा प्रवाह दर सहजपणे नियंत्रित केला जातो.
(२) द्रव. खोलीच्या तापमानाला किंवा किंचित जास्त तापमानाला, उच्च बाष्प दाब असलेले काही अभिक्रियात्मक पदार्थ, जसे की TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, इत्यादी, द्रवाच्या पृष्ठभागावरून किंवा बबलमधील द्रव वाहून नेण्यासाठी आणि नंतर पदार्थाच्या संतृप्त वाष्पांना स्टुडिओमध्ये वाहून नेण्यासाठी वापरले जाऊ शकतात.
(३) घन अवस्था. योग्य वायू किंवा द्रव स्रोताअभावी, फक्त घन-अवस्थेतील फीडस्टॉक वापरले जाऊ शकतात. काही घटक किंवा त्यांच्या शेकडो अंशांमधील संयुगे, जसे की TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, इत्यादी, फिल्म लेयरमध्ये जमा होणाऱ्या वाहक वायूचा वापर करून स्टुडिओमध्ये वाहून नेले जाऊ शकतात.
विशिष्ट वायू आणि स्त्रोत पदार्थ वायू-घन किंवा वायू-द्रव अभिक्रियेद्वारे अधिक सामान्य परिस्थिती प्रकार, स्टुडिओ वितरणासाठी योग्य वायू घटकांची निर्मिती. उदाहरणार्थ, HCl वायू आणि धातू Ga वायू घटक GaCl तयार करण्यासाठी प्रतिक्रिया देतात, जो GaCl स्वरूपात स्टुडिओमध्ये वाहून नेला जातो.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: नोव्हेंबर-१६-२०२३