Ус шахах систем дээрх вакуум бүрэх машин нь дараахь үндсэн шаардлагыг хангасан байна.
(1) Бүрхүүлгийн вакуум систем нь хангалттай их шахах хурдтай байх ёстой бөгөөд энэ нь бүрэх явцад субстрат болон ууршсан материал, вакуум камерт байгаа эд ангиудыг хурдан шахаж гаргахаас гадна шүрших, ион бүрэх үйл явцаас ялгарах хийг хурдан шахах, түүнчлэн хийн алдагдах, цацах системээс ялгарах чадвартай байх ёстой.
Шүрших, ион бүрэх явцад гарсан хийн алдагдлыг хурдан гаргаж авах боломжтой. Бүрэх машины бүтээмжийг дээшлүүлэхийн тулд хурдан ажиллах чадвартай байх ёстой.
(2) Бүрэх машин шахах системийн эцсийн вакуум нь өөр өөр хальсны шаардлагын дагуу өөр өөр байх ёстой. Хүснэгт 7-9 нь янз бүрийн хальсыг бүрэх процесст шаардагдах вакуум градусын хүрээ юм.
(3) Газрын тосны диффузын насосны үндсэн шахуургын систем нь насосны тосны буцах хурдыг аль болох бага байлгахыг шаарддаг, учир нь буцах тосны уур нь ажлын хэсгийн гадаргууг бохирдуулж, хальсны чанар буурахад хүргэдэг. Киноны чанарын шаардлага ялангуяа бүрэх явцад өндөр байдаг тул тосгүй шахуургын системийг ашиглах нь зүйтэй. Газрын тосны диффузын шахуургын шахуургын системийг ашиглахдаа насосны оролтын шингээх урхи, хүйтэн зангилаа болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг суурилуулж, вакуум систем нь шахуургын хамгийн дээд хурдыг хадгалахын тулд эд ангиудын дамжуулах чанарыг анхаарч үзэх хэрэгтэй.
(4) Вакуум бүрэх камер болон түүний шахуургын системийн нэвчилт нь бага байх ёстой, өөрөөр хэлбэл энэ нь ул мөр хийн алдагдал байсан ч энэ нь хальсны чанарт нөлөөлнө. Тиймээс системийн битүүмжлэлийн гүйцэтгэлийг хангахын тулд системийн нийт алдагдлын хэмжээг зөвшөөрөгдсөн хязгаарт хязгаарлах ёстой.
(5) Вакуум системийн ажиллагаа, ашиглалт, засвар үйлчилгээ нь тохиромжтой, тогтвортой, найдвартай ажиллагаатай байх ёстой.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023 оны 12-р сарын 14