Шүрших систем гэж нэрлэгддэг шүрших машинууд нь нимгэн хальсыг буулгах процесст ашиглагддаг өндөр мэргэшсэн төхөөрөмж юм. Энэ нь зорилтот материалыг өндөр энергитэй ион эсвэл атомаар бөмбөгддөг шүрших зарчмаар ажилладаг. Уг процесс нь зорилтот материалаас атомын урсгалыг гаргаж, дараа нь нимгэн хальс үүсгэхийн тулд субстрат дээр хадгалагддаг.
Өндөр цэвэршилттэй, маш сайн жигд, хяналттай зузаантай хальс үйлдвэрлэх чадвартай тул шүрших машинуудын хэрэглээ ихээхэн өргөжсөн. Ийм хальс нь микроэлектроник, оптик, нарны зай, соронзон хадгалах орчин болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг.
Шүршигч цацах машинуудын салбарт сүүлийн үеийн хөгжил дэвшил нь сайжруулсан үйл ажиллагаа, сайжруулсан шинж чанарыг бий болгосон. Магнетрон цацах технологийг нэвтрүүлсэн нь мэдэгдэхүйц ахиц дэвшил болсон бөгөөд энэ нь илүү өндөр тунадасжилт, хальсны чанарыг сайжруулах боломжийг олгодог. Энэхүү шинэлэг зүйл нь метал, металлын исэл, хагас дамжуулагч зэрэг төрөл бүрийн материалыг хуримтлуулах боломжийг олгодог.
Нэмж дурдахад, шүрших машинууд нь хийн даралт, эрчим хүчний нягтрал, зорилтот найрлага, субстратын температур зэрэг тунадасны параметрүүдийг нарийн хянах боломжийг олгодог дэвшилтэт хяналтын системээр тоноглогдсон. Эдгээр дэвшил нь киноны гүйцэтгэлийг сайжруулж, тусгай хэрэглээнд тохирсон шинж чанар бүхий хальс үйлдвэрлэх боломжийг олгодог.
Нэмж дурдахад, нанотехнологийн салбарын тасралтгүй хөгжил нь шүрших машинуудаас ихээхэн ашиг тустай байдаг. Судлаачид эдгээр машинуудыг ашиглан нано бүтэц, нано бүтэцтэй бүрээсийг маш өндөр нарийвчлалтайгаар бүтээж байна. Шүрших машинууд нь нарийн ширхэгтэй хэлбэр, том талбайд нимгэн хальсыг буулгах чадвартай тул нано хэмжээний төрөл бүрийн хэрэглээнд тохиромжтой.
Алдарт судалгааны байгууллагын эрдэмтдийн баг нимгэн хальсыг урьд өмнө хэзээ ч байгаагүй нарийвчлалтайгаар буулгах шинэ цацруулагч бодисыг амжилттай бүтээсэн тухай саяхан мэдээлсэн. Энэхүү дэвшилтэт машин нь хальсны жигд байдал, зузааныг дээд зэргээр хянахын тулд хамгийн сүүлийн үеийн хяналтын алгоритмууд болон шинэ магнетрон дизайныг нэгтгэдэг. Судалгааны багийнхан түүний машин нь дараагийн үеийн электрон төхөөрөмж, эрчим хүч хадгалах системийг үйлдвэрлэх процесст хувьсгал хийнэ гэж төсөөлж байна.
Сайжруулсан ажиллагаатай шинэ материал боловсруулах нь шинжлэх ухааны нийгэмлэгийн цуцашгүй эрэл хайгуул юм. Шүдрэх машинууд нь энэхүү хайгуулын зайлшгүй хэрэгсэл болж, өвөрмөц шинж чанартай шинэ материалыг олж, нэгтгэхэд тусалдаг. Судлаачид эдгээр машинуудыг хальсны өсөлтийн механизмыг судлах, тусгай зориулалтын шинж чанартай материалыг судлах, технологийн ирээдүйг тодорхойлох шинэ материалыг олж илрүүлэхэд ашиглаж байна.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023 оны 10-р сарын 30-ны хооронд