Вакуум бүрэх нь үндсэндээ вакуум уурын хуримтлал, шүршигч бүрээс, ион бүрээсийг багтаадаг бөгөөд эдгээр нь вакуум нөхцөлд нэрэх эсвэл цацах замаар хуванцар эд ангиудын гадаргуу дээр төрөл бүрийн металл ба металл бус хальсыг хуримтлуулахад ашигладаг бөгөөд энэ нь хурдан наалддаг давуу талтай маш нимгэн гадаргуугийн бүрээсийг авах боломжтой боловч металлын үнэ нь бас өндөр, ерөнхийдөө үйл ажиллагаа багатай байдаг. өндөр зэрэглэлийн бүтээгдэхүүнийг бүрэх.
Вакуум уурын хуримтлал гэдэг нь металыг өндөр вакуум орчинд халааж, хайлуулж, ууршуулж, хөргөсний дараа дээжийн гадаргуу дээр 0.8-1.2 um зузаантай нимгэн металл хальс үүсгэх арга юм. Энэ нь үүссэн бүтээгдэхүүний гадаргуу дээрх жижиг хотгор ба гүдгэр хэсгүүдийг дүүргэж, толин тусгал мэт гадаргуутай болно. Толин тусгал үүсгэх эсвэл бага наалдсан ганг вакуумаар ууршуулахын тулд вакуум уурын хуримтлал хийх үед доод гадаргууг бүрэх шаардлагатай.
Цус цацах гэдэг нь ихэвчлэн магнетрон шүршихийг хэлдэг бөгөөд энэ нь өндөр хурдтай бага температурт цацах арга юм. Уг процесст ойролцоогоор 1×10-3Torr вакуум шаардлагатай, өөрөөр хэлбэл инертийн хий аргон (Ar) ба хуванцар субстрат (анод) ба металлын объект (катод) хооронд өндөр хүчдэлийн шууд гүйдэл, түүнчлэн өндөр хүчдэлийн шууд гүйдлийн хооронд инертийн хийн электрон өдөөгдөж, плазмын гялбааны цацраг идэвхт бодис ялгардаг. онилж, хуванцар дэвсгэр дээр хадгална. Ихэнх ерөнхий металл бүрээс нь тогтмол гүйдлийн цацалтыг ашигладаг бол дамжуулагч бус керамик материал нь RF AC цацалтыг ашигладаг.
Ион бүрэх гэдэг нь хийн ялгаруулалтыг хий буюу ууршуулсан бодисыг вакуум нөхцөлд хэсэгчлэн ионжуулах, ууршуулсан бодис буюу түүний урвалд орох бодисыг хийн ион эсвэл ууршуулсан бодисын ионоор бөмбөгдөх замаар субстрат дээр байршуулах арга юм. Үүнд: магнетрон цацруулагч ионы бүрээс, реактив ионы бүрээс, хөндий катодын ялгадас ионы бүрээс (хотгор катодын уурын хуримтлуулах арга), олон нумын ионы бүрээс (катодын нумын ионы бүрээс).
Шугамын дагуу босоо хоёр талт магнетрон цацах тасралтгүй бүрэх
Өргөн хэрэглээний боломжтой, электрон бүтээгдэхүүнд ашиглах боломжтой, тухайлбал дэвтэрийн бүрхүүлийн EMI хамгаалалтын давхарга, хавтгай бүтээгдэхүүн, тэр ч байтугай тодорхой өндөр үзүүлэлтийн хүрээнд бүх чийдэнгийн аяга бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэх боломжтой. Ачаалах хүчин чадал ихтэй, авсаархан хавчих ба шаталсан хавчих конус хэлбэрийн гэрлийн аяга нь хоёр талт бүрээстэй бөгөөд энэ нь илүү их даацтай байх боломжтой. Тогтвортой чанар, багцаас багц хүртэлх кино давхаргын сайн тууштай байдал. Өндөр түвшний автоматжуулалт, бага ажиллах хүчний зардал.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2025 оны 1-р сарын 23-ны хооронд